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龍圖騰網(wǎng)獲悉華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓承載單元、后處理裝置、翻轉(zhuǎn)方法和處理設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120244826B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510732613.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B37/30；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓承載單元、后處理裝置、翻轉(zhuǎn)方法和處理設(shè)備是由路新春;南奇童;申兵兵;李長坤;王科設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-06-04向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓承載單元、后處理裝置、翻轉(zhuǎn)方法和處理設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種晶圓承載單元、后處理裝置、翻轉(zhuǎn)方法和處理設(shè)備，晶圓承載單元包括：承載托架，檢測組件和調(diào)節(jié)組件；承載托架包括可翻轉(zhuǎn)的主體，主體包括固定安裝的上限位件、下限位件驅(qū)動器和活動安裝的下限位件，用于在主體翻轉(zhuǎn)過程中限位和承載晶圓，下限位件驅(qū)動器用于驅(qū)動下限位件靠近或遠離主體的中心；檢測組件用于在主體翻轉(zhuǎn)至水平狀態(tài)時，檢測晶圓沿上限位件向下限位件方向的傾斜角度；調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)驅(qū)動器和調(diào)節(jié)支撐元件，調(diào)節(jié)驅(qū)動器將調(diào)節(jié)支撐元件驅(qū)動至以傾斜角度支撐晶圓，并在下限位件驅(qū)動器驅(qū)動下限位件遠離后，將調(diào)節(jié)支撐元件驅(qū)動至水平狀態(tài)。本發(fā)明能將傾斜晶圓調(diào)平，且不會污染晶圓和損傷限位件。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓承載單元、后處理裝置、翻轉(zhuǎn)方法和處理設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓承載單元，其特征在于，包括：承載托架，檢測組件和調(diào)節(jié)組件； 所述承載托架包括可沿第一軸翻轉(zhuǎn)的主體，所述主體包括固定安裝的上限位件、下限位件驅(qū)動器和活動安裝的下限位件，所述上限位件和下限位件位于所述第一軸的兩側(cè)，用于在所述主體翻轉(zhuǎn)過程中限位和承載晶圓，所述下限位件驅(qū)動器用于驅(qū)動所述下限位件靠近或遠離所述主體的中心； 所述檢測組件用于在所述主體翻轉(zhuǎn)至水平狀態(tài)時，檢測晶圓沿所述上限位件向所述下限位件方向的傾斜角度； 所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)驅(qū)動器和調(diào)節(jié)支撐元件，所述調(diào)節(jié)驅(qū)動器將所述調(diào)節(jié)支撐元件驅(qū)動至以所述傾斜角度支撐晶圓，并在所述下限位件驅(qū)動器驅(qū)動所述下限位件遠離后，將所述調(diào)節(jié)支撐元件驅(qū)動至水平狀態(tài)； 以使得晶圓被調(diào)節(jié)至水平狀態(tài)，且晶圓和所述下限位件不會被磨損。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區(qū)咸水沽鎮(zhèn)聚興道11號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。