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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利基板輸送裝置和基板輸送方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115346903B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210461658.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)基板輸送裝置和基板輸送方法是由垰田勇;兒玉俊昭設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-04-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板輸送裝置和基板輸送方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及基板輸送裝置和基板輸送方法。在輸送基板時(shí)，防止與該基板的輸送以及在輸送目的地的基板的處理有關(guān)的異常的產(chǎn)生。裝置構(gòu)成為包括：支承部，其用于支承基板；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述支承部沿橫向移動(dòng)，以將所述基板從分別載置該基板的第1載置部向第2載置部輸送；以及超聲波傳感器，其設(shè)于所述支承部，以檢測(cè)在所述第1載置部載置的所述基板。

本發(fā)明授權(quán)基板輸送裝置和基板輸送方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基板輸送裝置，其中， 該基板輸送裝置包括： 支承部，其用于支承基板； 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述支承部沿橫向移動(dòng)，以將所述基板從分別載置該基板的第1載置部向第2載置部輸送；以及 超聲波傳感器，其設(shè)于所述支承部，以檢測(cè)在所述第1載置部載置的所述基板， 其中，所述超聲波傳感器朝向上方照射超聲波， 其中，所述超聲波傳感器設(shè)于所述支承部，以檢測(cè)相對(duì)于在所述第1載置部載置的所述基板的距離， 其中，以向在所述第1載置部載置的所述基板的互相不同的位置照射超聲波的方式利用所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述支承部移動(dòng)， 該基板輸送裝置設(shè)有輸送確定部，該輸送確定部基于從照射所述超聲波的各位置檢測(cè)的距離來(lái)確定是否從所述第1載置部輸送該基板， 其中，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作，以進(jìn)行如下這樣的第1步驟：在從所述超聲波傳感器照射有超聲波的狀態(tài)下，使所述支承部從所述基板的外側(cè)的輸送區(qū)域向所述基板的下方的在俯視時(shí)與該基板重疊的位置移動(dòng)， 所述輸送確定部基于利用所述第1步驟檢測(cè)的距離來(lái)確定是否從所述第1載置部輸送所述基板， 其中，在將所述第1步驟中的所述支承部的移動(dòng)方向設(shè)為前方時(shí)，所述超聲波傳感器包括分別設(shè)于所述支承部的左側(cè)、右側(cè)的第1超聲波傳感器、第2超聲波傳感器， 所述輸送確定部基于利用所述第1步驟檢測(cè)的所述基板的周端位置來(lái)獲取所述基板的中心的位置， 將以在俯視時(shí)使所述第1超聲波傳感器沿著構(gòu)成以所述基板的中心為中心的圓的左側(cè)的第1圓弧移動(dòng)并利用該第1超聲波傳感器獲取相對(duì)于該基板的周緣部的距離的方式使所述支承部移動(dòng)的步驟、以及、以在俯視時(shí)使所述第2超聲波傳感器沿著構(gòu)成所述圓的右側(cè)的第2圓弧移動(dòng)并利用該第2超聲波傳感器獲取相對(duì)于該基板的周緣部的距離的方式使所述支承部移動(dòng)的步驟中的一者作為第2步驟進(jìn)行，將另一者作為接著所述第2步驟的第3步驟進(jìn)行， 所述輸送確定部基于利用所述第2步驟和所述第3步驟獲取的距離來(lái)確定是否從所述第1載置部輸送所述基板。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。