廈門市三安集成電路有限公司蔡文必獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉廈門市三安集成電路有限公司申請的專利內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114692556B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210435151.4,技術領域涉及:G06F30/392;該發明授權內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件是由蔡文必;吳揚;林義書;魏鴻基設計研發完成,并于2022-04-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件在說明書摘要公布了:本申請提供一種內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件,通過在射頻開關器件的版圖結構內部嵌入柵極指組,并通過柵極指組形成溝道電阻,利用溝道電阻的方式實現穩定柵極之間的電壓。在提高開關器件的耐攻率能力的同時,提高版圖的緊湊度,避免版圖面積過大。并且,柵極指組中包含至少兩個柵極指,可以便捷地通過調整柵極指之間的間距從而達到調整柵極之間電壓的Rds的效果,在工藝上易于實現。
本發明授權內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構和射頻開關器件在權利要求書中公布了:1.一種內嵌電阻的射頻開關器件版圖結構,其特征在于,包括:襯底、設置在所述襯底上的外延層以及設置在所述外延層上的第一電極、第二電極和柵極; 所述第一電極包括第一主電極和多個第一指電極,所述多個第一指電極在第一方向上平行間隔設置,且分別在第二方向上與所述第一主電極相連,所述第一方向和第二方向垂直; 所述第二電極包括第二主電極和多個第二指電極,所述多個第二指電極在第一方向上平行間隔設置,且分別在第二方向上與所述第二主電極相連; 所述第一主電極和第二主電極在第二方向上相對設置,第一指電極和第二指電極在第一方向上交替間隔設置于第一主電極和第二主電極之間,且呈叉指狀排列; 所述柵極包括至少一個子柵極,所述子柵極設置在所述第一主電極和第二主電極之間,所述子柵極包括多個橫向子柵極和縱向子柵極,橫向子柵極和縱向子柵極依次串聯連接,所述橫向子柵極的方向為第二方向,所述縱向子柵極的方向為第一方向; 所述至少一個子柵極包括第一子柵極,所述版圖結構還包括至少一個柵極指組,所述至少一個柵極指組包含第一柵極指組,所述第一柵極指組包含在第二方向上間隔設置的至少兩個柵極指,所述第一柵極指組在第一方向上處于相鄰兩個橫向子柵極之間,在第二方向上處于第一指電極和與所述相鄰兩個橫向子柵極連接的縱向子柵極之間; 在第一方向上各所述柵極指的一端與所述相鄰兩個橫向子柵極中的一個連接、另一端與另一個之間存在間隔,在第二方向上每相鄰兩個柵極指之間存在間隔且連接在不同的橫向子柵極上; 所述第一柵極指組和所述縱向子柵極之間還設置有第一金屬塊,所述第一金屬塊與所述第二主電極之間通過跨接線連接,且與跨接下端的所述縱向子柵極之間絕緣隔離; 所述第一電極為源極、第二電極為漏極,或所述第一電極為漏極、第二電極為源極。
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