長江存儲科技有限責任公司張中獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利三維存儲器、其制作方法以及具有其的存儲系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114899092B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210313527.4，技術領域涉及：H01L21/28；該發明授權三維存儲器、其制作方法以及具有其的存儲系統是由張中;王迪;周文犀設計研發完成，并于2022-03-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本三維存儲器、其制作方法以及具有其的存儲系統在說明書摘要公布了：本申請提供了一種三維存儲器、其制作方法以及具有其的存儲系統。該制作方法包括以下步驟：提供表面具有柵極堆疊結構的第一襯底，柵極堆疊結構具有遠離第一襯底的第一表面，多層控制柵結構包括靠近第一表面的多層頂部選擇柵，多層頂部選擇柵中最靠近第一襯底的一層頂部選擇柵為第一頂部選擇柵，其余頂部選擇柵為第二頂部選擇柵；在柵極堆疊結構遠離第一襯底的一側形成接觸孔和頂部選擇柵開口，接觸孔貫穿第二頂部選擇柵至第一頂部選擇柵，頂部選擇柵開口貫穿第一頂部選擇柵；在頂部選擇柵開口中形成頂部選擇柵切線，并在接觸孔中形成與第一頂部選擇柵接觸的接觸部。上述方法不僅節省了工藝時間和工藝成本，還節省了工藝窗口，有利于器件的微縮化。
本發明授權三維存儲器、其制作方法以及具有其的存儲系統在權利要求書中公布了：1.一種三維存儲器的制作方法，其特征在于，包括以下步驟： 提供表面具有柵極堆疊結構的第一襯底，所述柵極堆疊結構包括沿遠離所述第一襯底的方向交替的多層控制柵結構和多層隔離層，所述柵極堆疊結構具有遠離所述第一襯底的第一表面，所述多層控制柵結構包括靠近所述第一表面的多層頂部選擇柵，所述多層頂部選擇柵中最靠近所述第一襯底的一層頂部選擇柵為第一頂部選擇柵，其余頂部選擇柵為第二頂部選擇柵； 在所述柵極堆疊結構遠離所述第一襯底的一側形成接觸孔和頂部選擇柵開口，所述接觸孔貫穿所述第二頂部選擇柵至所述第一頂部選擇柵，所述頂部選擇柵開口貫穿所述第一頂部選擇柵； 在所述頂部選擇柵開口中形成頂部選擇柵切線，并在所述接觸孔中形成與所述第一頂部選擇柵接觸的接觸部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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