天虹科技股份有限公司林俊成獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉天虹科技股份有限公司申請的專利震動式薄膜沉積裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116479407B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210050028.0，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權震動式薄膜沉積裝置是由林俊成設計研發完成，并于2022-01-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本震動式薄膜沉積裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種震動式薄膜沉積裝置，主要包括一真空腔體、一固定桿體及一粉末槽，其中真空腔體包括至少一內側面，并于內側面上設置復數個凸起部及復數個凹陷部。固定桿體及粉末槽設置在真空腔體的一容置空間內，其中粉末槽用以裝設粉末，并經由至少一凸出單元接觸真空腔體的內側面。真空腔體相對于固定桿體轉動時，凸出單元會在凸起部及凹陷部之間位移，使得連接固定桿的粉末槽相對于真空腔體上下位移，并震動粉末槽內的粉末，以在粉末的表面形成均勻的薄膜。
本發明授權震動式薄膜沉積裝置在權利要求書中公布了：1.一種震動式薄膜沉積裝置，其特征在于，包括： 一真空腔體，包括至少一內側面，并于該內側面內形成一容置空間，其中該內側面設置復數個凸起部及復數個凹陷部； 一固定桿體，位于該真空腔體的該容置空間內，其中該真空腔體用以相對于該固定桿體轉動； 一粉末槽，位于該真空腔體的該容置空間內，并包括： 一盒體，用以容置粉末，并通過一連接支架連接該固定桿體，該連接支架通過一可動機構連接該盒體，該可動機構包括一凹槽； 至少一限位凸塊，設置在該盒體相對的兩個側邊，該限位凸塊插設在該凹槽內；及 至少一凸出單元，連接該盒體，其中該真空腔體轉動時，該凸出單元會在該凸起部及該凹陷部之間位移，該限位凸塊可沿著該凹槽位移，使得連接該限位凸塊的該盒體相對于該連接支架及或該固定桿體上下位移，該粉末槽相對于該真空腔體上下位移，并震動該盒體內的該粉末。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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