清華大學馬昕雨獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉清華大學申請的專利一種電光傳感器靜態偏置點工藝校正的方法和電光傳感器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114460378B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111574849.6，技術領域涉及：G01R29/08；該發明授權一種電光傳感器靜態偏置點工藝校正的方法和電光傳感器是由馬昕雨;牟星;莊池杰;曾嶸;唐建石;高濱;錢鶴;吳華強設計研發完成，并于2021-12-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種電光傳感器靜態偏置點工藝校正的方法和電光傳感器在說明書摘要公布了：本發明公開了一種電光傳感器靜態偏置點工藝校正的方法和電光傳感器，電光傳感器靜態偏置點工藝校正的方法，包括以下步驟：測量電光傳感器的靜態偏置點與π2的偏差；調節光波導的有效折射率，使所述電光傳感器的靜態偏置點達到π2。本發明通過在過渡族金屬氧化物阻變材料兩側施加外電壓，調節其介電常數，從而改變光波導的有效折射率，使靜態偏置點達到π2，校正電光傳感器制作中難以避免的工藝誤差；外電壓在調節完成后會被撤掉，過渡族金屬氧化物阻變材料介電常數不變，從而光波導的有效折射率保持不變，所以該技術是無源的；過渡族金屬氧化物阻變材料具有連續光調節功能，在不同電壓激勵下連續改變介電常數，滿足不同應用需求。
本發明授權一種電光傳感器靜態偏置點工藝校正的方法和電光傳感器在權利要求書中公布了：1.一種電光傳感器靜態偏置點工藝校正的方法，其特征在于，包括以下步驟： 測量電光傳感器的靜態偏置點與π2的偏差； 調節光波導的有效折射率，使所述電光傳感器的靜態偏置點達到π2，包括以下子步驟： 將過渡族金屬氧化物阻變材料層作為介電常數的調制層，設置于下電極和上電極之間； 通過在過渡族金屬氧化物阻變材料兩側施加外電壓，調節過渡族金屬氧化物阻變材料的介電常數，從而改變光波導的有效折射率，使靜態偏置點達到π2； 撤去外電壓，所述過渡族金屬氧化物阻變材料的介電常數保持不變。
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