聯華電子股份有限公司黃偉豪獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉聯華電子股份有限公司申請的專利切割鰭狀結構的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115411108B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110589682.4，技術領域涉及：H10D30/62；該發明授權切割鰭狀結構的方法是由黃偉豪;陳俊隆;廖琨垣;郭龍恩;許珈瑋設計研發完成，并于2021-05-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本切割鰭狀結構的方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種切割鰭狀結構的方法，包含有下述步驟。首先，提供一光掩模，其中光掩模包含一蛇形圖案。接著，形成一光致抗蝕劑層覆蓋鰭狀結構，其中鰭狀結構位于一基底上。之后，進行曝光顯影以于光致抗蝕劑層形成一光致抗蝕劑圖案，其中光致抗蝕劑圖案對應蛇形圖案。而后，轉移光致抗蝕劑圖案并蝕刻鰭狀結構的切割部分，以切割鰭狀結構。
本發明授權切割鰭狀結構的方法在權利要求書中公布了：1.一種切割鰭狀結構的方法，包含有： 提供光掩模，其中該光掩模包含蛇形圖案； 形成光致抗蝕劑層，覆蓋多個鰭狀結構，其中該多個鰭狀結構位于基底上； 進行曝光顯影以于該光致抗蝕劑層形成光致抗蝕劑圖案，其中該光致抗蝕劑圖案對應該蛇形圖案，且重疊鄰近的該多個鰭狀結構的多個切割部分；以及 轉移該光致抗蝕劑圖案并蝕刻該多個鰭狀結構的切割部分，以切割該多個鰭狀結構。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人聯華電子股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號