買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉株式會社荏原制作所申請的專利研磨裝置、信息處理系統、研磨方法及記錄介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113492356B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110285164.3，技術領域涉及：B24B37/005；該發明授權研磨裝置、信息處理系統、研磨方法及記錄介質是由中村顯;鳥越恒男;鈴木佑多;松尾尚典;神子島隆仁設計研發完成，并于2021-03-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本研磨裝置、信息處理系統、研磨方法及記錄介質在說明書摘要公布了：本發明是研磨裝置、信息處理系統、研磨方法及記錄介質，研磨裝置能夠參照存儲有使用學習用數據而完成學習的機器學習模型的存儲體，該學習用數據將關于研磨中的研磨部件與基板間的摩擦力的信號的特征量或研磨中的研磨部件或基板的溫度的特征量作為輸入，并將關于研磨后的基板的膜厚的數據或研磨后的基板所包含的關于產品合格率的參數作為輸出，研磨裝置具備處理器，該處理器根據關于研磨中的研磨部件與基板間的摩擦力的信號、或者研磨中的研磨部件或對象基板的溫度而生成特征量，將該生成的特征量輸入所述完成學習的機器學習模型，由此輸出關于研磨后的基板的膜厚的數據或研磨后的基板所包含的關于產品合格率的參數的任意一個作為推定值。

本發明授權研磨裝置、信息處理系統、研磨方法及記錄介質在權利要求書中公布了：1.一種研磨裝置，能夠參照存儲有使用學習用數據而完成學習的機器學習模型的存儲體，該學習用數據將關于研磨中的研磨部件與基板間的摩擦力的信號的特征量、或者研磨中的研磨部件或基板的溫度的特征量作為輸入，并將關于研磨后的基板的膜厚的數據或研磨后的基板所包含的關于產品合格率的參數作為輸出， 該研磨裝置的特征在于，具備： 研磨臺，該研磨臺設有研磨部件且構成為能夠旋轉； 研磨頭，該研磨頭與所述研磨臺相對且構成為能夠旋轉，并且能夠在與所述研磨臺相對的面安裝基板； 控制部，該控制部以一邊使安裝了基板的所述研磨頭與所述研磨臺旋轉，一邊將該基板按壓于所述研磨部件來研磨該基板的方式進行控制； 處理器，該處理器根據關于研磨中的研磨部件與基板間的摩擦力的信號、或者研磨中的研磨部件或對象基板的溫度而生成特征量，將生成的該特征量輸入所述完成學習的機器學習模型，由此輸出關于研磨后的基板的膜厚的數據或研磨后的基板所包含的關于產品合格率的參數的任意一個作為推定值；及 膜厚測定器，該膜厚測定器測定所述基板的膜厚， 在輸出的所述推定值滿足預定的研磨惡化條件時，所述處理器控制所述膜厚測定器測定研磨后的對象基板的膜厚，在輸出的所述推定值不滿足預定的研磨惡化條件時，所述處理器控制所述膜厚測定器不測定研磨后的對象基板的膜厚。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社荏原制作所，其通訊地址為：日本國東京都大田區羽田旭町11番1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。