芯米(廈門)半導體設備有限公司尹安和獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉芯米(廈門)半導體設備有限公司申請的專利節約光阻液的光阻液噴涂系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111451022B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010263935.4，技術領域涉及：B05B9/04；該發明授權節約光阻液的光阻液噴涂系統是由尹安和設計研發完成，并于2020-04-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本節約光阻液的光阻液噴涂系統在說明書摘要公布了：一種節約光阻液的光阻液噴涂系統，包括：儲液罐，用于儲存和供應光阻液；第一過濾器，用于過濾光阻液的雜質；緩沖器，用于排除光阻液的微氣泡，并用于緩存和提供光阻液；所述第一過濾器設置于所述儲液罐與所述緩沖器之間；光阻液泵，用于將所述緩沖器內的光阻液輸送至使用端；所述緩沖器連接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述緩沖器內部，第二端連接至所述第一過濾器前端；所述回抽管安裝有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于將所述緩沖器內的光阻液回抽至所述第一過濾器前端。所述光阻液噴涂系統能夠節約光阻液，節省成本。
本發明授權節約光阻液的光阻液噴涂系統在權利要求書中公布了：1.一種節約光阻液的光阻液噴涂系統，其特征在于，包括： 儲液罐，用于儲存和供應光阻液； 第一過濾器，用于過濾光阻液的雜質； 緩沖器，用于排除光阻液的微氣泡，并用于緩存和提供光阻液； 所述第一過濾器設置于所述儲液罐與所述緩沖器之間； 光阻液泵，用于將所述緩沖器內的光阻液輸送至使用端； 所述緩沖器連接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述緩沖器內部，第二端連接至所述第一過濾器前端；所述回抽管安裝有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于將所述緩沖器內的光阻液回抽至所述第一過濾器前端； 所述回抽管安裝有液體閥和回抽液體傳感器的至少其中之一； 所述緩沖器連接有排氣管；所述排氣管安裝有排氣閥和氣體傳感器的至少其中之一；所述排氣管還安裝有抽氣裝置； 還包括第二過濾器，所述第二過濾器與所述第一過濾器并列連接在所述儲液罐與所述緩沖器之間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人芯米(廈門)半導體設備有限公司，其通訊地址為：361000 福建省廈門市火炬高新區(翔安)產業區春風路6號第三層301；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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