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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社斯庫林集團(tuán)申請的專利基板處理裝置、基板處理方法以及計(jì)算機(jī)可讀取的存儲介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113874985B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080038502.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/304；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置、基板處理方法以及計(jì)算機(jī)可讀取的存儲介質(zhì)是由日野出大輝;江戶徹;筱原健介設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-04-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板處理裝置、基板處理方法以及計(jì)算機(jī)可讀取的存儲介質(zhì)在說明書摘要公布了：為了提高基板的質(zhì)量，基板處理裝置具有基板保持部、第一驅(qū)動(dòng)部、藥液噴出部、杯部、第二驅(qū)動(dòng)部以及控制部。基板保持部以水平姿勢保持具有第一面以及與該第一面相反的第二面的基板。第一驅(qū)動(dòng)部使基板保持部以假想軸為中心旋轉(zhuǎn)。藥液噴出部朝向由基板保持部保持的基板的第一面噴出藥液。杯部圍繞基板保持部的周圍。第二驅(qū)動(dòng)部使杯部相對于基板保持部的上下方向中的相對位置變化。控制部一邊執(zhí)行藥液處理一邊通過第二驅(qū)動(dòng)部使杯部相對于基板保持部的上下方向中的相對位置變化，該藥液處理為：一邊通過第一驅(qū)動(dòng)部使基板保持部以假想軸為中心旋轉(zhuǎn)，一邊使藥液噴出部朝向由基板保持部保持的基板的第一面噴出藥液來對第一面實(shí)施處理。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置、基板處理方法以及計(jì)算機(jī)可讀取的存儲介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其中，具有： 基板保持部，以水平姿勢保持基板，所述基板具有第一面以及與所述第一面相反的第二面， 第一驅(qū)動(dòng)部，使所述基板保持部以假想軸為中心旋轉(zhuǎn)， 藥液噴出部，朝向由所述基板保持部保持的所述基板的所述第一面噴出藥液， 杯部，圍繞所述基板保持部的周圍， 第二驅(qū)動(dòng)部，使所述杯部相對于所述基板保持部的上下方向中的相對位置變化，以及 控制部，一邊執(zhí)行藥液處理一邊通過所述第二驅(qū)動(dòng)部使所述杯部相對于所述基板保持部的所述上下方向中的相對位置變化，在所述藥液處理中，一邊通過所述第一驅(qū)動(dòng)部使所述基板保持部以所述假想軸為中心旋轉(zhuǎn)，一邊使所述藥液噴出部朝向由所述基板保持部保持的所述基板的所述第一面噴出所述藥液來對所述第一面實(shí)施處理， 所述控制部在從開始執(zhí)行所述藥液處理的第一時(shí)刻起至結(jié)束執(zhí)行所述藥液處理的第二時(shí)刻為止的藥液處理期間，以如下方式進(jìn)行控制：從通過所述第二驅(qū)動(dòng)部使所述杯部相對于所述基板保持部的所述上下方向中的相對位置向下方向移動(dòng)開始，在所述藥液處理期間的開始至結(jié)束的期間，通過所述杯部中的一個(gè)杯構(gòu)件接住從所述基板飛散的所述藥液。

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