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龍圖騰網(wǎng)獲悉埃克斯控股(北京)有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利基于ROPN的真空鎖進(jìn)出控制方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120335375B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510747819.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G05B19/042；該發(fā)明授權(quán)基于ROPN的真空鎖進(jìn)出控制方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)是由付錦超;傅慧初;郭宇翔;劉斌;安書(shū)墨;張羽霏設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-06向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本基于ROPN的真空鎖進(jìn)出控制方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及基于ROPN的真空鎖進(jìn)出控制方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，所述方法包括：獲取工藝模塊的總數(shù)并構(gòu)建ROPN模型，以獲取實(shí)時(shí)清潔信息；基于實(shí)時(shí)清潔信息、工藝模塊總數(shù)和ROPN模型的控制規(guī)則判斷是否允許新晶圓傳入；若允許，則獲取多批次工作信息和實(shí)時(shí)占用信息，以確認(rèn)排序批次信息；依據(jù)排序批次信息、實(shí)時(shí)占用信息和控制規(guī)則，確認(rèn)待傳輸晶圓批次；本申請(qǐng)公開(kāi)的方法，基于排序批次信息和資源狀態(tài)實(shí)現(xiàn)晶圓批次的動(dòng)態(tài)調(diào)度，支持多批次并行加工，同時(shí)避免加工過(guò)程的阻塞現(xiàn)象；通過(guò)精確控制真空鎖的進(jìn)出時(shí)機(jī)，有效減少晶圓在系統(tǒng)中的滯留時(shí)間以及設(shè)備的空轉(zhuǎn)現(xiàn)象，從而提高工藝模塊和機(jī)械手的利用率。

本發(fā)明授權(quán)基于ROPN的真空鎖進(jìn)出控制方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基于ROPN的真空鎖進(jìn)出控制方法，其特征在于，包括： 獲取工藝模塊的總數(shù)量并構(gòu)建ROPN模型，基于所構(gòu)建的ROPN模型獲取工藝模塊的實(shí)時(shí)清潔信息； 基于實(shí)時(shí)清潔信息、工藝模塊的總數(shù)量以及所構(gòu)建的ROPN模型的控制規(guī)則判斷是否允許新晶圓的傳入； 當(dāng)允許新晶圓傳入時(shí)，獲取多批次工作信息并基于所構(gòu)建的ROPN模型獲取工藝模塊的實(shí)時(shí)占用信息，基于多批次工作信息和工藝模塊的實(shí)時(shí)占用信息確認(rèn)排序批次信息； 基于排序批次信息、工藝模塊的實(shí)時(shí)占用信息以及所構(gòu)建的ROPN模型的控制規(guī)則確認(rèn)待傳輸?shù)木A批次。

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