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龍圖騰網獲悉浙江中科尚弘離子裝備工程有限公司申請的專利一種離子注入機中的解鎖頂升組件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120236987B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510725326.9，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種離子注入機中的解鎖頂升組件是由龔再生設計研發完成，并于2025-06-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種離子注入機中的解鎖頂升組件在說明書摘要公布了：本發明公開了一種離子注入機中的解鎖頂升組件，包括底板，設置在的驅動電機與滾珠絲杠傳動連接，滾珠絲杠上的滑塊連接有活動板，在活動板的兩側分別固定設置有一導向傳動桿，解鎖板的一端套設在導向傳動桿上，并通過彈簧與活動板彈性連接，解鎖板的另一端延伸至晶圓加工工位；導向傳動桿分別位于解鎖板的兩側，導向傳動桿的端部與第一連桿的一端連接，第一連桿的另一端向下傾斜，且與通過第一轉動件與第二連桿的一端活動連接，在第二連桿的另一端設有第二轉動件，在第一轉動件和第二轉動件的內側端分別設有一頂升塊，頂升塊可在導向傳動桿的推動下轉動頂起晶圓。本發明通過設置一驅動電機便可同時實現對靶盤組件的解鎖和舉升動作。

本發明授權一種離子注入機中的解鎖頂升組件在權利要求書中公布了：1.一種離子注入機中的解鎖頂升組件，其特征在于，包括底板1，設置在底板1下方的驅動電機2的輸出端與設置在底板1上方的滾珠絲杠3傳動連接，設置在滾珠絲杠3上的滑塊4連接有同步移動的活動板5，在活動板5的兩側分別固定設置有一導向傳動桿6，解鎖板7的一端套設在導向傳動桿6上，并通過彈簧8與活動板5彈性連接，解鎖板7的另一端延伸至旋轉靶盤的晶圓加工工位； 所述導向傳動桿6分別位于解鎖板7的兩側，導向傳動桿6的端部與第一連桿61的一端連接，第一連桿61的另一端向下傾斜，且與通過第一轉動件62與第二連桿63的一端活動連接，在第二連桿63的另一端設有第二轉動件64，在第一轉動件62和第二轉動件64的內側端分別設有一頂升塊65，頂升塊65能夠在導向傳動桿6的推動下轉動頂起晶圓，位于相對側的兩個頂升塊65通過一同步轉動軸66連接，在同步轉動軸66上設有用于復位頂升塊65的扭簧67； 所述解鎖板7的底部設有活動基座71，活動基座71的兩側分別設有一通孔，且通過通孔套設在導向軸72上，導向軸72的兩端分別通過一定位座73安裝，定位座73固定設置在活動基板74的頂面，在活動基板74的底面設有滑動塊75，所述滑動塊75與平行設置在滾珠絲杠3側方的滑軌76配合。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江中科尚弘離子裝備工程有限公司，其通訊地址為：314100 浙江省嘉興市嘉善縣魏塘街道嘉年路95號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。