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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請(qǐng)的專利一種特種氣體安全控制裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117305819B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311269903.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/52；該發(fā)明授權(quán)一種特種氣體安全控制裝置是由劉暢;榮延棟;胡云龍;劉旭設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-07-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種特種氣體安全控制裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明實(shí)施例提供了一種特種氣體安全控制方法和一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，該方法包括：獲取腔室的壓力值；在壓力值大于預(yù)設(shè)壓力閾值的情況下，當(dāng)需打開(kāi)第二氣體閥門和第三氣體閥門時(shí)，控制第一電路斷開(kāi)，第二電路和第三電路接通，使第一氣體閥門關(guān)閉、第二氣體閥門和第三氣體閥門打開(kāi)；當(dāng)需打開(kāi)第一氣體閥門時(shí)，控制第一電路閉合，第二電路和第三電路斷開(kāi)，使第一氣體閥門打開(kāi)、第二氣體閥門和第三氣體閥門關(guān)閉。通過(guò)將閥門互鎖加入電路設(shè)計(jì)中，使第一氣體分別與第二氣體、第三氣體閥門不會(huì)同時(shí)開(kāi)啟，從而避免了軟件控制失效的風(fēng)險(xiǎn)，防止特種氣體之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成副產(chǎn)物，造成硬件的損壞和人員的傷害，杜絕安全隱患，保護(hù)系統(tǒng)和人員安全。

本發(fā)明授權(quán)一種特種氣體安全控制裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種特種氣體安全控制裝置，其特征在于，應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括工藝腔室；所述控制裝置包括電連接的控制電路和控制器； 所述控制電路包括： 第一電路，用于控制第一氣體對(duì)應(yīng)閥門的通斷； 第二電路，用于控制第二氣體對(duì)應(yīng)閥門的通斷； 第三電路，用于控制第三氣體對(duì)應(yīng)閥門的通斷； 所述控制器用于： 獲取所述工藝腔室的壓力值信號(hào)； 在所述壓力值大于預(yù)設(shè)壓力閾值的情況下，當(dāng)需要打開(kāi)所述第二氣體對(duì)應(yīng)閥門和所述第三氣體對(duì)應(yīng)閥門時(shí)，控制所述第一電路斷開(kāi)，控制所述第二電路和所述第三電路接通，以使所述第一氣體對(duì)應(yīng)閥門關(guān)閉、所述第二氣體對(duì)應(yīng)閥門和所述第三氣體對(duì)應(yīng)閥門打開(kāi)；當(dāng)需要打開(kāi)所述第一氣體對(duì)應(yīng)閥門時(shí)，控制所述第一電路閉合，以及控制所述第二電路和所述第三電路斷開(kāi)，以使所述第一氣體對(duì)應(yīng)閥門打開(kāi)、所述第二氣體對(duì)應(yīng)閥門和所述第三氣體對(duì)應(yīng)閥門關(guān)閉；以使所述工藝腔室的壓力值大于所述預(yù)設(shè)壓力閾值時(shí)，所述第一氣體對(duì)應(yīng)閥門與所述第二氣體對(duì)應(yīng)閥門不會(huì)同時(shí)開(kāi)啟，所述第一氣體對(duì)應(yīng)閥門與所述第三氣體對(duì)應(yīng)閥門不會(huì)同時(shí)開(kāi)啟，以防止所述第一氣體、所述第二氣體和所述第三氣體之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成副產(chǎn)物。

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