株式會社斯庫林集團竹原弘耕獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利熱處理用基座及熱處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115831806B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210835609.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權熱處理用基座及熱處理裝置是由竹原弘耕設計研發完成，并于2022-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本熱處理用基座及熱處理裝置在說明書摘要公布了：本發明的目的在于提供一種構成簡單，且能防止閃光照射時的襯底的跳躍及破裂的熱處理用基座及熱處理裝置。熱處理用基座74在通過從閃光燈對襯底照射閃光而進行半導體襯底W的熱處理時保持半導體晶圓W，具備：保持板75，具有平面狀的保持面75a；及多個襯底支撐銷77，立設在保持面75a上。在保持板75的至少一個襯底支撐銷77的立設位置周圍形成縫隙78。縫隙78具有至少一個曲部78t。
本發明授權熱處理用基座及熱處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種熱處理用基座，其特征在于，通過從閃光燈對襯底照射閃光而進行所述襯底的熱處理時保持所述襯底，具備： 保持板，具有平面狀的保持面；及 多個襯底支撐體，立設在所述保持面上；且 在所述保持板的至少一個所述襯底支撐體的立設位置周圍形成縫隙， 所述縫隙具有圍繞至少一個所述襯底支撐體的曲部或角部， 所述縫隙是使所述保持板上下貫通的缺口。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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