買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉杰宜斯科技有限公司申請的專利基板清洗裝置及其控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115223914B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210416659.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)基板清洗裝置及其控制方法是由白承大;許今東;金成燁;孫在煥;金南辰;樸峻求設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-04-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板清洗裝置及其控制方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了基板清洗裝置及其控制方法，基板清洗裝置的特征在于，包括：真空卡盤部，用于放置晶圓；環(huán)形蓋部，與晶圓的卡環(huán)部對置；擴張機模塊，以能夠使環(huán)形蓋部移動的方式設(shè)置，并且對卡環(huán)部向真空卡盤部側(cè)施加壓力，以使晶圓中晶粒的間隔擴大；以及卡盤模塊，設(shè)置于真空卡盤部，以將被擴張機模塊施加壓力的環(huán)形蓋部限制在真空卡盤部。

本發(fā)明授權(quán)基板清洗裝置及其控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板清洗裝置，其特征在于，包括： 真空卡盤部，用于放置晶圓； 環(huán)形蓋部，與所述晶圓的卡環(huán)部對置； 擴張機模塊，以能夠使所述環(huán)形蓋部移動的方式設(shè)置，并且對所述卡環(huán)部向所述真空卡盤部側(cè)施加壓力，以使所述晶圓中晶粒的間隔擴大；以及 卡盤模塊，設(shè)置于所述真空卡盤部，以將被所述擴張機模塊施加壓力的所述環(huán)形蓋部限制在所述真空卡盤部， 所述擴張機模塊包括： 擴張機頭部；以及 多個擴張機臂部，與所述擴張機頭部連接，并且具備用于把持所述環(huán)形蓋部來使所述環(huán)形蓋部移動而能夠插入所述環(huán)形蓋部的外側(cè)面的鉤銷部。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人杰宜斯科技有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。