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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利半導(dǎo)體工藝設(shè)備及脈沖信號控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114709125B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210321984.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及脈沖信號控制方法是由楊京;黃亞輝;趙曉建;張鵬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-03-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體工藝設(shè)備及脈沖信號控制方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及脈沖信號控制方法，該半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括工藝腔室、上電極和下電極、方波電源和兩個射頻電源，其中，上電極和下電極沿豎直方向相對設(shè)置于工藝腔室中，下電極用于承載晶圓；兩個射頻電源的頻率不同，用于輸出射頻連續(xù)信號或者射頻脈沖信號，兩個射頻電源中的一者與下電極連接，另一者與下電極或者上電極連接，方波電源與上電極連接，用于輸出可變頻率的脈沖電壓信號。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體工藝設(shè)備及脈沖信號控制方法，可以在進(jìn)行等離子體刻蝕工藝的過程中對刻蝕形貌進(jìn)行調(diào)節(jié)，以獲得高深寬比且側(cè)壁垂直的刻蝕形貌。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及脈沖信號控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括工藝腔室、上電極和下電極、方波電源和兩個射頻電源，其中， 所述上電極和所述下電極沿豎直方向相對設(shè)置于所述工藝腔室中，所述下電極用于承載晶圓；兩個射頻電源的頻率不同，用于輸出射頻連續(xù)信號或者射頻脈沖信號，兩個所述射頻電源中的一者與所述下電極連接，另一者與所述下電極或者所述上電極連接，所述方波電源與所述上電極連接，用于輸出可變頻率的脈沖電壓信號； 所述脈沖電壓信號的周期為第一周期，所述第一周期包括第一時段和第二時段，所述兩個射頻電源的頻率高的一者的周期為第二周期，所述第二周期的信號輸出時段與所述第一時段同步。

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