東京毅力科創株式會社波多野達夫獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利基板搬送裝置、基板搬送方法以及基板處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114765120B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210001965.7，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權基板搬送裝置、基板搬送方法以及基板處理系統是由波多野達夫;渡邊直樹設計研發完成，并于2022-01-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板搬送裝置、基板搬送方法以及基板處理系統在說明書摘要公布了：本公開提供一種基板搬送裝置、基板搬送方法以及基板處理系統。基板搬送裝置具有：搬送單元，其具有用于保持基板的基板保持部、內部具有多個磁體來用于使基板保持部移動的基部、以及將基板保持部與基部連結的連桿構件；以及平面馬達，其具有主體部、排列在主體部內的多個電磁線圈、以及向電磁線圈供電來使基部磁懸浮并且對所述基部進行直線驅動的直線驅動部。基部具有第一構件、以及以能夠旋轉的方式設置于第一構件內的第二構件，在第一構件和第二構件的內部設置有磁體，連桿構件以能夠旋轉的方式與第二構件連結，直線驅動部用于使第二構件相對于第一構件旋轉，來使基板保持部經由連桿構件伸縮。
本發明授權基板搬送裝置、基板搬送方法以及基板處理系統在權利要求書中公布了：1.一種基板搬送裝置，用于將基板搬送至基板搬送位置，所述基板搬送裝置具有： 搬送單元，其具有用于保持基板的基板保持部、內部具有多個磁體來用于使所述基板保持部移動的基部、以及將所述基板保持部與所述基部連結的連桿構件；以及 平面馬達，其具有主體部、排列在所述主體部內的多個電磁線圈、以及向所述電磁線圈供電來使所述基部磁懸浮并且對所述基部進行直線驅動的直線驅動部， 其中，所述基部具有第一構件、以及以能夠旋轉的方式設置于所述第一構件內的第二構件，在所述第一構件和所述第二構件的內部設置有所述磁體， 所述連桿構件以能夠旋轉的方式與所述第二構件連結， 所述直線驅動部用于使所述第二構件相對于所述第一構件旋轉，來使所述基板保持部經由所述連桿構件伸縮， 在所述基板保持部退縮了時，成為所述基部、所述連桿構件以及所述基板保持部上下重疊的狀態，所述基部在該狀態下被進行直線驅動， 在使所述基板保持部訪問所述基板搬送位置時，所述基板保持部被設為從所述基部伸長的狀態。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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