買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉圓益IPS股份有限公司申請(qǐng)的專利基板處理方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115206829B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111541201.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基板處理方法是由黃雅英;張?jiān)礈?zhǔn);金周燮;樸坰;南尚錄;安海桭;李大成;金昶熏設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-16向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板處理方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及基板處理方法，更詳細(xì)地說，涉及在處理基板時(shí)通過調(diào)節(jié)腔室內(nèi)部的溫度可防止薄膜特性降低的基板處理方法。本發(fā)明公開了一種基板處理方法，包括：增壓步驟，將工藝壓力從第一壓力P1上升至大于大氣壓的第二壓力P2；降壓步驟，將工藝壓力從大于大氣壓的第六壓力P6降低至第七壓力P7；退火步驟，在高于常溫的第二溫度T2的溫度環(huán)境下在所述增壓步驟及所述降壓步驟之間以提前設(shè)定的壓力變化模式改變工藝壓力；其中，在所述增壓步驟執(zhí)行中或者所述增壓步驟執(zhí)行之后執(zhí)行升溫步驟，所述升溫步驟是從提前設(shè)定的升溫時(shí)間點(diǎn)t1至提前設(shè)定的升溫終點(diǎn)t2將溫度環(huán)境從第一溫度T1升溫至所述第二溫度T2。

本發(fā)明授權(quán)基板處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，包括： 增壓步驟，將工藝壓力從第一壓力P1上升至大于大氣壓的第二壓力P2； 降壓步驟，將工藝壓力從大于大氣壓的第六壓力P6降低至第七壓力P7； 退火步驟，在高于常溫的第二溫度T2的溫度環(huán)境下在所述增壓步驟及所述降壓步驟之間以提前設(shè)定的壓力變化模式改變工藝壓力而執(zhí)行退火； 其中，在所述增壓步驟執(zhí)行中或者所述增壓步驟執(zhí)行之后執(zhí)行升溫步驟，所述升溫步驟是從提前設(shè)定的升溫時(shí)間點(diǎn)t1至提前設(shè)定的升溫終點(diǎn)t2將溫度環(huán)境從第一溫度T1升溫至所述第二溫度T2， 在所述退火步驟執(zhí)行之后執(zhí)行降溫步驟，所述降溫步驟將溫度環(huán)境從第二溫度T2降溫至第三溫度T3， 其中，所述退火步驟包括： 下降模式，將所述工藝壓力從所述第二壓力P2降低；及 上升模式，將所述工藝壓力上升至所述第六壓力P6。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人圓益IPS股份有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道平澤市振威面振威產(chǎn)團(tuán)路75；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。