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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利臺(tái)車和基片處理裝置的構(gòu)成部件的支承方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114664712B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111508143.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)臺(tái)車和基片處理裝置的構(gòu)成部件的支承方法是由藤田裕人;藤原潤(rùn)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本臺(tái)車和基片處理裝置的構(gòu)成部件的支承方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種臺(tái)車和基片處理裝置的構(gòu)成部件的支承方法。本發(fā)明的臺(tái)車，其用于在基片處理裝置的外部支承通過向橫向滑動(dòng)而能夠被取出至外部的該裝置的構(gòu)成部件，包括：臺(tái)車主體，其具有車輪而能夠在地面上移動(dòng)，且包括支承所述構(gòu)成部件的第1支承部；和第2支承部，其以能夠在使所述臺(tái)車的所述橫向的寬度成為第1長(zhǎng)度的第1位置與使該橫向的寬度成為比第1長(zhǎng)度大的第2長(zhǎng)度的第2位置之間移動(dòng)的方式與所述臺(tái)車主體連接，用于至少在所述第2位置與所述第1支承部一起支承所述構(gòu)成部件。根據(jù)本發(fā)明，在將基片處理裝置的構(gòu)成部件從該裝置取出到外部并支承于臺(tái)車時(shí)，能夠在必要時(shí)以外削減臺(tái)車所占的空間。

本發(fā)明授權(quán)臺(tái)車和基片處理裝置的構(gòu)成部件的支承方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種臺(tái)車，其用于在基片處理裝置的外部支承通過向橫向滑動(dòng)而能夠被取出至外部的該基片處理裝置的構(gòu)成部件，其特征在于，包括： 臺(tái)車主體，其具有車輪而能夠在地面上移動(dòng)，且包括支承所述構(gòu)成部件的第1支承部；和 第2支承部，其以能夠在使所述臺(tái)車的所述橫向的寬度成為第1長(zhǎng)度的第1位置與使該橫向的寬度成為比第1長(zhǎng)度大的第2長(zhǎng)度的第2位置之間移動(dòng)的方式與所述臺(tái)車主體連接，用于至少在所述第2位置與所述第1支承部一起支承所述構(gòu)成部件， 當(dāng)使所述構(gòu)成部件被取出的橫向?yàn)楹蠓綍r(shí)， 所述第1支承部和所述第2支承部的組在左右方向上分開地設(shè)置，以分別支承所述構(gòu)成部件的左右側(cè)， 各所述組中的第1支承部和所述第2支承部以在前后方向上排列的方式設(shè)置，并且該前后方向上的相對(duì)位置是可變更的， 設(shè)置有由能夠相互滑動(dòng)的第1滑動(dòng)部件和第2滑動(dòng)部件構(gòu)成的滑動(dòng)部， 在所述第1支承部、所述第2支承部分別設(shè)置有所述第1滑動(dòng)部件、所述第2滑動(dòng)部件， 所述第2支承部包括：在前后方向上設(shè)置于所述第1支承部側(cè)的中間支承部；和相對(duì)于該中間支承部設(shè)置于與所述第1支承部相反的一側(cè)的端部側(cè)支承部， 所述滑動(dòng)部設(shè)置有多個(gè)， 在所述第1支承部、所述中間支承部分別設(shè)置有一個(gè)所述滑動(dòng)部中的所述第1滑動(dòng)部件、所述第2滑動(dòng)部件，該第1支承部和該中間支承部的前后方向上的相對(duì)位置是可變更的， 在所述端部側(cè)支承部、所述中間支承部分別設(shè)置有另一個(gè)所述滑動(dòng)部中的所述第1滑動(dòng)部件、所述第2滑動(dòng)部件，該端部側(cè)支承部和該中間支承部的前后方向上的相對(duì)位置是可變更的。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。