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龍圖騰網獲悉中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司石油工程技術研究院;中國電子科技集團公司第十三研究所申請的專利MEMS陀螺正交耦合在片自動測試裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114910096B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110177426.4，技術領域涉及：G01C25/00；該發明授權MEMS陀螺正交耦合在片自動測試裝置及方法是由丁士東;鄭奕挺;倪衛寧;胡越發;宗艷波;盧新艷;王寧;盛百城設計研發完成，并于2021-02-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本MEMS陀螺正交耦合在片自動測試裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種MEMS陀螺正交耦合在片自動測試裝置，其包含：測試模塊，其滿足圓片級正交耦合測試要求，集成在低寄生參數探卡上，通過低寄生探針與待測陀螺連接，用于對所述待測陀螺進行正交耦合測試；采集與配置模塊，其與所述測試模塊連接，用于對所述測試模塊進行參數配置，并采集所述待測陀螺的驅動信號以及檢測信號；控制模塊，其與所述采集與配置模塊連接，用于依據所述驅動信號以及所述檢測信號計算得到所述待測陀螺的正交耦合數據。本發明能夠在圓片級對陀螺正交耦合進行精確、批量測試，剔除正交耦合不合格芯片，并且，避免了不合格芯片進入下一生產環節，縮短了產品迭代周期，提高了生產效率，降低了生產成本。

本發明授權MEMS陀螺正交耦合在片自動測試裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS陀螺正交耦合在片自動測試裝置，其特征在于，所述裝置包含： 測試模塊，其滿足圓片級正交耦合測試要求，集成在低寄生參數探卡上，通過低寄生探針與待測陀螺連接，用于對所述待測陀螺進行正交耦合測試，其中，所述測試模塊封裝在具備高可靠以及低寄生特性的陶瓷管殼中，所述低寄生探針采用鈹銅材料制成； 采集與配置模塊，其與所述測試模塊連接，用于對所述測試模塊進行參數配置，并采集所述待測陀螺的驅動信號以及檢測信號； 控制模塊，其與所述采集與配置模塊連接，用于依據所述驅動信號以及所述檢測信號計算得到所述待測陀螺的正交耦合數據； 所述測試模塊包含：閉環驅動單元，其與所述待測陀螺連接，用于對所述待測陀螺進行驅動閉環控制，使得所述待測陀螺實現穩定振幅諧振；檢測單元，其與所述待測陀螺連接，用于檢測得到所述待測陀螺的所述檢測信號； 所述閉環驅動單元包含依次連接的：第一電容電壓轉換單元、第一模數轉換單元、第一帶通濾波單元、自動增益控制單元以及數模轉換單元，其中，所述第一電容電壓轉換單元的輸入端通過連接線2與所述待測陀螺連接，所述數模轉換單元的輸出端通過連接線1與所述待測陀螺連接； 所述檢測單元包含依次連接的：第二電容電壓轉換單元、第二模數轉換單元以及第二帶通濾波單元，其中，所述第二電容電壓轉換單元的輸入端與所述待測陀螺連接； 所述待測陀螺平穩諧振時，通過以下表達式得到所述驅動信號： Dr＝Ad×sinωdt 通過以下表達式得到所述待測陀螺的正交耦合數據： 式中：Qu為待測陀螺正交耦合；Se為待測陀螺的檢測信號；Dr為待測陀螺的驅動信號；Ad為振幅；ωd為諧振頻率； 所述裝置支持陀螺頻率高達30kHz，驅動電壓最高8V，噪聲50zFsqrtHz。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司石油工程技術研究院;中國電子科技集團公司第十三研究所，其通訊地址為：100728 北京市朝陽區朝陽門北大街22號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。