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龍圖騰網獲悉遼寧嘉順科技有限公司申請的專利一種氧化鎂單晶靶材制備表面檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120388014B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510857348.0，技術領域涉及：G06T7/00；該發明授權一種氧化鎂單晶靶材制備表面檢測方法是由高斌;王繼奇;倪晶;趙恩猛;史銳;許勇;卞天賜;史軒赫;龐善文設計研發完成，并于2025-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種氧化鎂單晶靶材制備表面檢測方法在說明書摘要公布了：本發明涉及靶材表面檢測領域，具體是一種氧化鎂單晶靶材制備表面檢測方法，該方法通過獲取每個檢測子區域的表面形貌圖像并同步采集對應檢測子區域的成分譜數據；對成分譜數據去除連續背景噪聲并提取特征X射線峰強度并記為成分參數；從表面形貌圖像中提取形貌參數，所述形貌參數與所述成分參數進行空間配準得到形貌?成分融合特征向量；將所述形貌?成分融合特征向量與預設的污染顆粒特征庫、微凸起特征庫進行比對分析得到相似性概率，根據相似性概率得到檢測子區域的缺陷類型判別結果；將判別結果映射至靶材表面的三維坐標，標記污染顆粒與微凸起的位置及置信度并生成檢測報告；有效提高對氧化鎂單晶靶材表面缺陷檢測的準確性和全面性。

本發明授權一種氧化鎂單晶靶材制備表面檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種氧化鎂單晶靶材制備表面檢測方法，其特征在于，所述方法包括： 將靶材表面劃分為多個檢測子區域，并確定各檢測子區域的優先級掃描順序；通過掃描電子顯微鏡獲取每個檢測子區域的表面形貌圖像，并同步通過能量色散X射線光譜儀采集對應檢測子區域的成分譜數據； 對所述成分譜數據進行多幀疊加處理后，通過非線性最小二乘法擬合去除連續背景噪聲并提取特征X射線峰強度并記為成分參數；從所述表面形貌圖像中提取形貌參數，所述形貌參數與所述成分參數進行空間配準得到形貌-成分融合特征向量；所述形貌參數包括微區高度梯度、局部表面曲率半徑及邊緣銳度參數； 將所述形貌-成分融合特征向量與預設的污染顆粒特征庫、微凸起特征庫進行比對分析得到相似性概率，根據所述相似性概率得到檢測子區域的缺陷類型判別結果； 將所述判別結果映射至靶材表面的三維坐標，標記污染顆粒與微凸起的位置及置信度并生成檢測報告； 所述對所述成分譜數據進行多幀疊加處理后，通過非線性最小二乘法擬合去除連續背景噪聲并提取特征X射線峰強度的方法包括： 通過加權平均法對所述成分譜數據進行多幀疊加處理，所述多幀疊加處理的疊加幀數根據當前檢測子區域的優先級進行動態調整，當檢測子區域的優先級高于預設優先級閾值時，通過自適應算法逐步增加疊加幀數直至疊加后成分譜數據的信噪比提升率大于預設提升率閾值； 構建包含多項式基函數和指數衰減基函數的復合背景模型，通過非線性最小二乘法對多幀疊加處理后的成分譜數據進行全局擬合得到所述多項式基函數和指數衰減基函數的權重系數，將所述權重系數代入復合背景模型得到覆蓋全能量范圍的連續背景噪聲；從多幀疊加處理后的成分譜數據中去除所述連續背景噪聲得到去噪成分譜數據； 根據預設的靶材元素特征能量范圍，利用滑動窗口法在所述去噪成分譜數據中篩選滿足局部極大值條件且半高寬處于預設寬度區間的候選特征峰，并根據各候選特征峰的能量通道區間計算峰面積積分值作為特征X射線峰強度，且對每個候選特征峰的左能量邊界和右能量邊界進行動態校準，所述動態校準為根據候選特征峰對應能量通道的計數率一階導數變化趨勢確定峰邊界起始點，若相鄰能量通道的計數率相關性系數低于預設相關性閾值，則判定為孤立噪聲點形成的偽特征峰并進行剔除。

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