福州大學(xué)張海忠獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉福州大學(xué)申請(qǐng)的專利一種具有NiO場(chǎng)限環(huán)和浮空?qǐng)霭鍙?fù)合終端結(jié)構(gòu)的P-NiO/N-Ga2O3異質(zhì)結(jié)二極管及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN120358756B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202510837829.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D8/00;該發(fā)明授權(quán)一種具有NiO場(chǎng)限環(huán)和浮空?qǐng)霭鍙?fù)合終端結(jié)構(gòu)的P-NiO/N-Ga2O3異質(zhì)結(jié)二極管及其制備方法是由張海忠;何燁;許曉銳;陳得森設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-06-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種具有NiO場(chǎng)限環(huán)和浮空?qǐng)霭鍙?fù)合終端結(jié)構(gòu)的P-NiO/N-Ga2O3異質(zhì)結(jié)二極管及其制備方法在說(shuō)明書摘要公布了:本發(fā)明提供了一種具有NiO場(chǎng)限環(huán)和浮空?qǐng)霭鍙?fù)合終端結(jié)構(gòu)的P?NiON?Ga2O3異質(zhì)結(jié)二極管及其制備方法,包括自下而上依次層疊設(shè)置陰極金屬層、高摻雜N型Ga2O3襯底、低摻雜N型Ga2O3外延層、氧化物介質(zhì)層、P型NiO層、若干NiO場(chǎng)限環(huán)、陽(yáng)極金屬及陽(yáng)極場(chǎng)板、若干浮空金屬場(chǎng)板、鈍化層;本技術(shù)方案旨在提供適用于Ga2O3功率器件的終端結(jié)構(gòu)以使得Ga2O3功率器件具有較高的擊穿電壓。本發(fā)明的核心在于借助NiO場(chǎng)限環(huán)和浮空?qǐng)霭鍙?fù)合終端結(jié)構(gòu)顯著提高器件擊穿電壓,同時(shí)降低對(duì)加工工藝的依賴性。
本發(fā)明授權(quán)一種具有NiO場(chǎng)限環(huán)和浮空?qǐng)霭鍙?fù)合終端結(jié)構(gòu)的P-NiO/N-Ga2O3異質(zhì)結(jié)二極管及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種具有NiO場(chǎng)限環(huán)和浮空?qǐng)霭鍙?fù)合終端結(jié)構(gòu)的P-NiON-Ga2O3異質(zhì)結(jié)二極管,其特征在于,包括自下而上依次層疊設(shè)置陰極金屬層1、高摻雜N型Ga2O3襯底2、低摻雜N型Ga2O3外延層3、氧化物介質(zhì)層4、P型NiO層51、若干NiO場(chǎng)限環(huán)52、陽(yáng)極金屬及陽(yáng)極場(chǎng)板61、若干浮空金屬場(chǎng)板62、鈍化層7; 所述的陰極金屬層1沉積在高摻雜N型Ga2O3襯底2的下表面;所述的氧化物介質(zhì)層4等間距地分布在低摻雜N型Ga2O3外延層3的部分表面上;所述的P型NiO層51及若干NiO場(chǎng)限環(huán)52構(gòu)成第一組合部5;所述第一組合部5等間距地分布在低摻雜N型Ga2O3外延層3的部分表面上,并與氧化物介質(zhì)層4形成交替分布的結(jié)構(gòu);所述的陽(yáng)極金屬及陽(yáng)極場(chǎng)板61覆蓋在P型NiO層51的全部表面以及氧化物介質(zhì)層4的部分表面上,若干浮空金屬場(chǎng)板62等間距地分布在氧化物介質(zhì)層4的部分表面以及NiO場(chǎng)限環(huán)52的全部表面上,構(gòu)成第二組合部6;所述的鈍化層7覆蓋在氧化物介質(zhì)層4和若干浮空金屬場(chǎng)板62的全部表面以及陽(yáng)極金屬及陽(yáng)極場(chǎng)板61的部分表面上。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人福州大學(xué),其通訊地址為:362251 福建省泉州市晉江市金井鎮(zhèn)水城路1號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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