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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利晶圓傳送設(shè)備及其安全檢測系統(tǒng)和檢測方法、控制裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120319696B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510788877.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)晶圓傳送設(shè)備及其安全檢測系統(tǒng)和檢測方法、控制裝置是由徐昕;王兆祥;桂智謙;涂樂義;梁潔;仲凱;方子豪;曹天俊;譚小龍設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-06-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓傳送設(shè)備及其安全檢測系統(tǒng)和檢測方法、控制裝置在說明書摘要公布了：本公開提供晶圓傳送設(shè)備及其安全檢測系統(tǒng)和檢測方法、控制裝置。安全檢測系統(tǒng)包括障礙物檢測裝置和控制裝置，障礙物檢測裝置包括至少一動態(tài)檢測模組，用于受控沿預(yù)設(shè)的檢測路徑移動并生成動態(tài)檢測信號，至少一動態(tài)檢測模組沿預(yù)設(shè)的檢測路徑移動形成的檢測范圍覆蓋傳送機器人的作業(yè)區(qū)域；控制裝置與至少一動態(tài)檢測模組通信連接，用于控制至少一動態(tài)檢測模組執(zhí)行安全檢測，根據(jù)動態(tài)檢測信號而判斷檢測范圍內(nèi)是否存在障礙物，在確定存在障礙物時采取應(yīng)對措施。安全檢測系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、能對傳送機器人的作業(yè)區(qū)域執(zhí)行全面且快速的安全檢測，在檢測到障礙物時采取有效的應(yīng)對措施，避免傳送機器人因路徑障礙物引發(fā)碰撞事故。

本發(fā)明授權(quán)晶圓傳送設(shè)備及其安全檢測系統(tǒng)和檢測方法、控制裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓傳送設(shè)備的安全檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓傳送設(shè)備包括傳送腔體和設(shè)于所述傳送腔體內(nèi)的傳送機器人，所述傳送腔體包括至少一進料口和至少一出料口；所述安全檢測系統(tǒng)包括： 障礙物檢測裝置，包括至少一動態(tài)檢測模組；所述至少一動態(tài)檢測模組設(shè)置于所述傳送腔體內(nèi)，用于受控沿預(yù)設(shè)的檢測路徑移動并生成動態(tài)檢測信號；其中，所述至少一動態(tài)檢測模組沿預(yù)設(shè)的檢測路徑移動形成的檢測范圍覆蓋所述傳送機器人的作業(yè)區(qū)域；所述動態(tài)檢測模組包括檢測模塊和與所述檢測模塊關(guān)聯(lián)的移動驅(qū)動機構(gòu)，所述移動驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述檢測模塊沿預(yù)設(shè)的檢測路徑移動；以及 控制裝置，與所述檢測裝置中的至少一動態(tài)檢測模組通信連接，用于向所述至少一動態(tài)檢測模組發(fā)送檢測指令以令所述至少一動態(tài)檢測模組中的移動驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動關(guān)聯(lián)的檢測模塊沿預(yù)設(shè)的檢測路徑移動進行巡檢以覆蓋到傳送機器人的作業(yè)區(qū)域，根據(jù)所述至少一動態(tài)檢測模組的動態(tài)檢測信號而判斷檢測范圍內(nèi)是否存在障礙物，并在確定存在障礙物時采取應(yīng)對措施。

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