北京航天微電科技有限公司于海洋獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京航天微電科技有限公司申請的專利一種薄膜體聲波諧振器、制備方法和薄膜體聲波濾波器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114006598B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111267917.4，技術領域涉及：H03H9/17；該發明授權一種薄膜體聲波諧振器、制備方法和薄膜體聲波濾波器是由于海洋;張恒;易宇;倪燁;袁燕;張智欣;閆鑫;陳長娥;段英麗;時鵬程;陳曉陽設計研發完成，并于2021-10-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種薄膜體聲波諧振器、制備方法和薄膜體聲波濾波器在說明書摘要公布了：本發明涉及一種薄膜體聲波諧振器、制備方法和薄膜體聲波濾波器，薄膜體聲波諧振器包括：依次層疊設置的圖形化后的第二電極層、圖形化后的壓電層、圖形化后的第一電極層和襯底；襯底上布設多個散熱盲孔，每個散熱盲孔內填充有導熱散熱材料，并在每個散熱盲孔內的導熱散熱材料的上方填充高阻材料，形成全反射結構，圖形化后的第一電極層覆設在所有散熱盲孔的開口上。在襯底上進行全反射結構的制備，并在每個散熱盲孔內填充導熱散熱材料和高阻材料，使本申請的一種薄膜體聲波諧振器，在維持原本高Q值的同時，還解決傳統薄膜體聲波諧振器因導散熱能力不足而產生的溫度影響，且結構可靠性強，利于集成，制備工藝簡單。
本發明授權一種薄膜體聲波諧振器、制備方法和薄膜體聲波濾波器在權利要求書中公布了：1.一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，包括：圖形化后的第二電極層、圖形化后的壓電層、圖形化后的第一電極層和襯底； 所述圖形化后的第二電極層、所述圖形化后的壓電層、所述圖形化后的第一電極層和所述襯底依次層疊設置； 所述襯底上布設多個散熱盲孔，在每個散熱盲孔內填充導熱散熱材料和高阻材料，且所述高阻材料在所述導熱散熱材料的上方，形成全反射結構，所述圖形化后的第一電極層覆設在所有散熱盲孔的開口上； 其中，根據待諧振的聲波的波長計算得到散熱盲孔的分布、以及散熱盲孔的深度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京航天微電科技有限公司，其通訊地址為：100854 北京市海淀區永定路50號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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