浙江馳拓科技有限公司韓谷昌獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江馳拓科技有限公司申請的專利一種MTJ結構中固定層的優化方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114665007B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011535003.7,技術領域涉及:H10N50/10;該發明授權一種MTJ結構中固定層的優化方法是由韓谷昌;王明;楊曉蕾;哀立波;張愷燁;劉波設計研發完成,并于2020-12-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種MTJ結構中固定層的優化方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種MTJ結構中固定層的優化方法,包括以下步驟:減小固定層磁性層的厚度;調節各磁性層的磁矩,使得固定層在自由層處的偏置場符合設定值。與現有技術相比,本發明提供的MTJ結構中固定層的優化方法能夠在不影響MTJ結構整體穩定性的基礎上,減小固定層厚度,從而減輕MTJ刻蝕損傷。實驗結果表明,本發明提供的MTJ結構中固定層的優化方法一方面,降低MTJ刻蝕損傷,同時不影響參考層穩定性;另一方面,降低整體存儲單元的厚度,有利于減少刻蝕時間,也為擴展到小尺寸提供光刻Litho及硬掩模HM更多選擇。
本發明授權一種MTJ結構中固定層的優化方法在權利要求書中公布了:1.一種MTJ結構中固定層的優化方法,包括以下步驟: 減小固定層磁性層的厚度;調節各磁性層的磁矩,使得固定層在自由層處的偏置場符合設定值; 所述MTJ結構包括第一釘扎層、第二釘扎層、位于第一釘扎層和第二釘扎層之間的反鐵磁耦合層、過渡層、參考層、勢壘層和自由層; 所述固定層包括第一釘扎層、第二釘扎層、位于第一釘扎層和第二釘扎層之間的反鐵磁耦合層、過渡層和參考層; 所述減小固定層磁性層的厚度和調節各磁性層的磁矩包括: a)減小第一釘扎層PL1的厚度,并提高第一釘扎層PL1的磁矩; 步驟a)中所述減小第一釘扎層PL1的厚度的過程具體為:降低CoPtn多層中Co和Pt的厚度到每個分子層; 步驟a)中所述提高第一釘扎層PL1的磁矩的方式為采用高磁飽和磁化Ms的Co合金;所述高磁飽和磁化Ms的Co合金選自CoxFe1-x或CoFeNi,其中,x為0.1~0.4; b)減小第二釘扎層PL2的磁矩,并降低第二釘扎層PL2的厚度; 步驟b)中所述減小第二釘扎層PL2的磁矩的方式為采用低磁飽和磁化Ms的磁性層; 步驟b)中所述降低第二釘扎層PL2的厚度的過程具體為:降低CoPtn多層中Co和Pt的厚度到每個分子層; c)減小參考層RL的厚度,并降低參考層RL的磁矩; 步驟c)中所述減小參考層RL的厚度至≤1nm; 步驟c)中所述降低參考層RL的磁矩的方式為采用低磁飽和磁化Ms同時阻尼因子高的鐵磁材料。
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