創意電子股份有限公司;臺灣積體電路制造股份有限公司廖致傑獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉創意電子股份有限公司;臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利測試設備、其元件搬運裝置及測試設備的測試方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114609496B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011431540.7,技術領域涉及:G01R31/26;該發明授權測試設備、其元件搬運裝置及測試設備的測試方法是由廖致傑;程志豐;孫育民設計研發完成,并于2020-12-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本測試設備、其元件搬運裝置及測試設備的測試方法在說明書摘要公布了:一種測試設備、其元件搬運裝置及測試設備的測試方法,測試設備包含一測試載臺與一元件搬運裝置。元件搬運裝置包括一取放手臂、一真空吸附單元、一工作底蓋與一流體傳輸組。真空吸附單元連接取放手臂,用以可移除地吸附至一待測物上。工作底蓋的一端連接取放手臂,另端具有一凹陷槽與一彈性氣密環。彈性氣密環圍繞凹陷槽,用以氣密地覆蓋于待測物的頂面,而讓凹陷槽與待測物的頂面之間共同定義出一液體盛裝空間。流體傳輸組部分地伸入液體盛裝空間內,使得一液體溫控裝置能夠注入與收回一能與待測物的頂面進行熱交換的工作液體。透過以上架構,測試設備以液體直接接觸受驗元件,省略了層層的熱阻,以提升散熱效率,并排除熱積存產生的問題。
本發明授權測試設備、其元件搬運裝置及測試設備的測試方法在權利要求書中公布了:1.一種測試設備,其特征在于,包含: 一第一抽真空裝置; 一第二抽真空裝置; 一液體溫控裝置; 一測試載臺;以及 一元件搬運裝置,用以拾取并搬運一待測物至該測試載臺,該元件搬運裝置包括: 一取放手臂; 一真空吸附單元,連接該取放手臂與該第一抽真空裝置,用以可移除地吸附至該待測物上; 一工作底蓋,包含一蓋體、一抽真空內管與一彈性氣密環,該蓋體的一端連接該取放手臂,其另端具有一凹陷槽,該彈性氣密環固定地設置于該蓋體的該另端,且圍繞該凹陷槽,用以氣密地覆蓋于該待測物的一頂面,使得該凹陷槽與該待測物的該頂面之間共同定義出一液體盛裝空間,該抽真空內管形成于該蓋體內,且該抽真空內管的一端連接該第二抽真空裝置,其另端貫穿該彈性氣密環,用以可移除地吸附至該待測物的該頂面;以及 一流體傳輸組,位于該工作底蓋上,連接該液體溫控裝置,被該抽真空內管圍繞,且部分地伸入該液體盛裝空間內, 其中該液體溫控裝置通過該流體傳輸組連續注入一工作液體至該待測物的該頂面,使得該工作液體與該待測物進行熱交換,并通過該流體傳輸組抽回該工作液體。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人創意電子股份有限公司;臺灣積體電路制造股份有限公司,其通訊地址為:中國臺灣新竹科學園區力行六路10號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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