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龍圖騰網(wǎng)獲悉科磊股份有限公司申請(qǐng)的專利用于掃描電子顯微鏡應(yīng)用的傳感器模塊獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114365257B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080060224.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/244；該發(fā)明授權(quán)用于掃描電子顯微鏡應(yīng)用的傳感器模塊是由M·特倫頗設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-08-25向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于掃描電子顯微鏡應(yīng)用的傳感器模塊在說明書摘要公布了：公開一種掃描電子顯微鏡SEM系統(tǒng)。所述SEM系統(tǒng)包含經(jīng)配置以產(chǎn)生電子射束的電子源及經(jīng)配置以跨樣本掃描所述電子射束且將通過所述樣本散射的電子聚焦到一或多個(gè)成像平面上的一組電子光學(xué)器件。所述SEM系統(tǒng)包含定位于所述一或多個(gè)成像平面處的第一檢測(cè)器模塊，其中所述第一檢測(cè)器模塊包含經(jīng)配置以將來自所述樣本的例如電子及或x射線的散射粒子轉(zhuǎn)換成一組等效信號(hào)電荷的多像素固態(tài)傳感器。所述多像素固態(tài)傳感器連接到經(jīng)配置以處理來自所述傳感器的一或多個(gè)像素的所述組信號(hào)電荷的兩個(gè)或更多個(gè)專用集成電路ASIC。

本發(fā)明授權(quán)用于掃描電子顯微鏡應(yīng)用的傳感器模塊在權(quán)利要求書中公布了：1.一種掃描電子顯微鏡系統(tǒng)，其包括： 電子源，其經(jīng)配置以產(chǎn)生電子射束； 一組電子光學(xué)器件，其經(jīng)配置以跨樣本掃描所述電子射束且將通過所述樣本而散射的電子聚焦到一或多個(gè)成像平面上；及 第一檢測(cè)器模塊，其定位于所述一或多個(gè)成像平面處， 其中所述第一檢測(cè)器模塊包含經(jīng)配置以將來自所述樣本的散射粒子轉(zhuǎn)換成一組等效信號(hào)電荷的多像素固態(tài)傳感器， 其中所述多像素固態(tài)傳感器連接到經(jīng)配置以處理來自所述傳感器的一或多個(gè)像素的所述一組等效信號(hào)電荷的兩個(gè)或更多個(gè)專用集成電路ASIC，其中每一個(gè)ASIC均包含多個(gè)集群，其中每一集群均包含至少四個(gè)像素，且其中各個(gè)ASIC經(jīng)配置以： 檢測(cè)由相應(yīng)集群在第一時(shí)間間隔中收集的電荷，其中所述第一時(shí)間間隔與掃描時(shí)鐘同步以產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于由所述相應(yīng)集群在所述第一時(shí)間間隔中收集的所述電荷的第一電信號(hào)，并將所述第一電信號(hào)轉(zhuǎn)換成第一數(shù)字信號(hào)；以及 檢測(cè)由所述相應(yīng)集群在第二時(shí)間間隔中收集的電荷，其中所述第二時(shí)間間隔與所述掃描時(shí)鐘同步以產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于在所述第二時(shí)間間隔中收集的所述電荷的第二電信號(hào)且將所述第二電信號(hào)轉(zhuǎn)換成第二數(shù)字信號(hào)，其中在完成轉(zhuǎn)換所述第一電信號(hào)之前開始轉(zhuǎn)換所述第二電信號(hào)。

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