東京毅力科創株式會社田村一獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利基板載置臺、基板處理裝置以及溫度控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112216647B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010636793.1，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權基板載置臺、基板處理裝置以及溫度控制方法是由田村一設計研發完成，并于2020-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板載置臺、基板處理裝置以及溫度控制方法在說明書摘要公布了：本發明提供基板載置臺、基板處理裝置以及溫度控制方法。將基板的溫度分布控制為在分隔壁的內側和外側急劇變化。基板載置臺包括：基部，其具有載置基板的載置面；環狀的支承構件，其設于基部，沿著基板的外周側支承基板；環狀的分隔壁，其設于載置面，在載置于載置面的基板的徑向上將載置面分隔為外側區域和內側區域；多個突起，其設于外側區域和內側區域處的載置面，以在分隔壁的上端面與基板間空開空隙的方式支承基板；外側流路，其以與外側區域連通的方式設于基部，供向基板與載置面間的空間供給的傳熱氣體流動；內側流路，其以與內側區域連通的方式設于基部，供傳熱氣體流動；環狀的擴散部，其設于基部，使傳熱氣體沿著分隔壁的周向擴散。
本發明授權基板載置臺、基板處理裝置以及溫度控制方法在權利要求書中公布了：1.一種基板載置臺，其中， 該基板載置臺包括： 基部，其具有載置基板的載置面； 環狀的支承構件，其設于所述基部，沿著所述基板的外周側支承所述基板； 環狀的分隔壁，其設于所述載置面上，在載置于所述載置面的所述基板的徑向上將所述載置面分隔為外側區域和內側區域； 多個突起，其設于所述外側區域和所述內側區域處的所述載置面上，以在所述分隔壁的上端面與所述基板之間空開空隙的方式支承所述基板； 外側流路，其以與所述外側區域連通的方式設于所述基部，供向所述基板與所述載置面之間的空間供給的傳熱氣體流動； 內側流路，其以與所述內側區域連通的方式設于所述基部，供所述傳熱氣體流動；以及 環狀的擴散部，其設于所述基部，使所述傳熱氣體沿著所述分隔壁的周向擴散。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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