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龍圖騰網(wǎng)獲悉無(wú)錫興華衡輝科技有限公司申請(qǐng)的專利一種接觸式光刻機(jī)清洗設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120421273B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510929122.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B3/12；該發(fā)明授權(quán)一種接觸式光刻機(jī)清洗設(shè)備是由劉正旭設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種接觸式光刻機(jī)清洗設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種接觸式光刻機(jī)清洗設(shè)備，涉及半導(dǎo)體芯片技術(shù)領(lǐng)域，包括清洗架、超聲清洗組件、傳動(dòng)組件和回收組件，所述清洗架頂部的前表面設(shè)置PLC控制器。本發(fā)明使用時(shí)，擰動(dòng)收緊螺栓，帶動(dòng)限位伸縮桿轉(zhuǎn)動(dòng)并收縮，進(jìn)一步帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿、轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)和兩個(gè)弧形收緊板轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)兩個(gè)收緊塊產(chǎn)生相對(duì)的拉力，通過(guò)兩個(gè)收緊塊帶動(dòng)兩個(gè)收緊桿相對(duì)移動(dòng)進(jìn)一步帶動(dòng)兩個(gè)調(diào)節(jié)框相對(duì)移動(dòng)，通過(guò)橡膠釘將光刻板夾持固定住，然后將夾緊架外表面的插桿插入插孔內(nèi)部。在調(diào)節(jié)組件的作用下，設(shè)置可以調(diào)節(jié)寬度距離的調(diào)節(jié)框，可以對(duì)不同厚度的光刻板進(jìn)行柔性?shī)A持固定，提高其牢固性和穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權(quán)一種接觸式光刻機(jī)清洗設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種接觸式光刻機(jī)清洗設(shè)備，包括清洗架、超聲清洗組件、傳動(dòng)組件和回收組件，其特征在于：所述清洗架頂部的前表面設(shè)置PLC控制器，所述清洗架的頂部設(shè)置高壓沖洗組件，所述超聲清洗組件的內(nèi)部設(shè)置調(diào)節(jié)組件； 所述調(diào)節(jié)組件包括四個(gè)夾緊架和八個(gè)調(diào)節(jié)框，八個(gè)所述調(diào)節(jié)框的一側(cè)外表面均固定連接有八個(gè)橡膠釘，八個(gè)所述調(diào)節(jié)框的兩側(cè)外表面均固定連接有收緊桿，所述夾緊架上下疊加放置兩個(gè)光刻板，所述調(diào)節(jié)框調(diào)節(jié)橡膠釘之間的距離寬度，與夾緊架中疊放的光刻板接觸，所述收緊桿用于帶動(dòng)調(diào)節(jié)框移動(dòng)； 所述超聲清洗組件包括外殼和清洗池，所述清洗池的底部設(shè)置換能器； 所述清洗池的外表面固定安裝在外殼的內(nèi)部，所述清洗池外表面的底面處固定連接有廢液管，所述廢液管的一端固定貫穿至外殼的外表面，所述廢液管的外表面設(shè)置閥門，所述外殼和清洗池的頂部設(shè)置兩個(gè)插合蓋，所述外殼的底部固定安裝在清洗架的頂部； 所述高壓沖洗組件包括三個(gè)高壓泵和兩個(gè)存液桶，三個(gè)所述高壓泵的輸出端均通過(guò)法蘭盤(pán)連接有出液管，三個(gè)所述出液管的一端均設(shè)置電磁閥，三個(gè)所述電磁閥的輸出端均設(shè)置連接管，三個(gè)所述連接管的一端固定連接有T型管； 所述高壓沖洗組件還包括兩個(gè)移動(dòng)管，兩個(gè)所述移動(dòng)管的一端固定連接有分流管，兩個(gè)所述移動(dòng)管的外表面均固定連接有多個(gè)噴頭，所述分流管外表面的中心處固定連接有固定管，所述固定管的一端固定連接有軟管，所述軟管的一端與T型管的一端固定連接； 其中兩個(gè)所述高壓泵的輸入端均通過(guò)法蘭盤(pán)連接有抽液管，另外一個(gè)所述高壓泵的輸入端通過(guò)法蘭盤(pán)連接有抽水管，兩個(gè)所述移動(dòng)管和分流管的外表面均活動(dòng)嵌設(shè)在清洗池的內(nèi)部，兩個(gè)所述抽液管的一端分別延伸至兩個(gè)存液桶的內(nèi)部，三個(gè)所述高壓泵的底部均通過(guò)螺栓安裝在清洗架頂部的邊緣處，所述T型管的兩端均固定安裝有支撐塊，兩個(gè)所述支撐塊的底部均固定安裝在清洗架的頂部； 所述傳動(dòng)組件包括螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和U型板，所述螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的外表面設(shè)置移動(dòng)板，所述移動(dòng)板一側(cè)外表面的頂部處固定安裝有固定桿，所述固定桿的一端固定安裝有移動(dòng)桿，所述移動(dòng)桿的底部固定安裝在U型板的頂部，所述U型板的底部固定安裝在兩個(gè)移動(dòng)管外表面的頂部處，所述U型板的外表面活動(dòng)嵌設(shè)在清洗池的內(nèi)部，所述螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的底部固定安裝在清洗架的頂部靠近外殼處。

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