東京毅力科創(chuàng)株式會社渡邊真二郎獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利對準(zhǔn)方法和檢查裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115480078B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210567378.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01R1/04;該發(fā)明授權(quán)對準(zhǔn)方法和檢查裝置是由渡邊真二郎設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-05-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本對準(zhǔn)方法和檢查裝置在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供能夠?qū)㈦姌O焊盤和探針以高精度進(jìn)行對位的對準(zhǔn)方法和檢查裝置。本發(fā)明的一個方式的對準(zhǔn)方法為包括與多個芯片對應(yīng)地設(shè)置的多個探針組的探針卡的對準(zhǔn)方法,其特征在于:包括第一模式,對所述多個芯片中的各個芯片,基于與所述芯片對應(yīng)地設(shè)置的所述探針組中包含的2個以上的探針的位置信息來計算該探針組的傾斜度和重心,基于計算出的所述多個探針組的傾斜度和重心來計算所述探針卡的傾斜度和重心。
本發(fā)明授權(quán)對準(zhǔn)方法和檢查裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種對準(zhǔn)方法,其為包括與多個芯片對應(yīng)地設(shè)置的多個探針組的探針卡的對準(zhǔn)方法,其特征在于: 包括下述的第一模式: 基于各探針組中包含的2個以上的探針的設(shè)計上的位置信息,來分別計算各探針組的設(shè)計上的傾斜度和各探針組的設(shè)計上的重心,基于計算出的所述各探針組的設(shè)計上的傾斜度和所述各探針組的設(shè)計上的重心,來計算探針卡的設(shè)計上的傾斜度和探針卡的設(shè)計上的重心, 基于各探針組中包含的2個以上的探針的測量上的位置信息,來分別計算各探針組的測量上的傾斜度和各探針組的測量上的重心,基于計算出的所述各探針組的測量上的傾斜度和所述各探針組的測量上的重心,來計算探針卡的測量上的傾斜度和探針卡的測量上的重心, 分別計算所述探針卡的測量上的傾斜度相對于所述探針卡的設(shè)計上的傾斜度的偏移量即傾斜度偏移量、和所述探針卡的測量上的重心相對于所述探針卡的設(shè)計上的重心的偏移量即重心偏移量。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會社,其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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