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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市柯寶原科技有限公司申請(qǐng)的專利一種掩膜板制作方法及掩膜板獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116463592B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210252156.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/24；該發(fā)明授權(quán)一種掩膜板制作方法及掩膜板是由王云升設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-03-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種掩膜板制作方法及掩膜板在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種掩膜板制作方法及采用該方法制作形成的掩膜板，所述掩膜板制作方法包括：對(duì)作為掩膜的不銹鋼片進(jìn)行張網(wǎng)；對(duì)所述不銹鋼片進(jìn)行激光切割，形成需要的掩膜通孔圖案；將切割好的不銹鋼片焊接到掩膜板框上，去除多余部分獲得掩膜板半成品；取另一不銹鋼片制作保護(hù)片，對(duì)所述掩膜板半成品進(jìn)行保護(hù)并打磨通孔邊沿，清洗獲得最終的掩膜板。由于本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ逯谱鞣椒ǎ捎么蚰サ姆绞饺コ送走呇氐拿痰热毕荩岣吡搜谀ぐ宓闹圃炝悸省１旧暾?qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ逵捎诓捎蒙鲜龇椒ㄖ谱餍纬桑苊饬搜谀ぐ逋走呇孛痰热毕荩虼四軌蛱岣哐谀ぐ宓馁|(zhì)量和OLED蒸鍍質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)一種掩膜板制作方法及掩膜板在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種掩膜板制作方法，其特征在于，包括： 取一絲網(wǎng)，將其水平拉伸繃緊，取一鋁框，在框體一面涂上膠水，然后將其貼在拉伸好的絲網(wǎng)上，膠水干燥粘接穩(wěn)固后，沿鋁框的外邊沿將絲網(wǎng)裁下，制得網(wǎng)框； 取裁好的不銹鋼片，在不銹鋼片的一面的四周靠邊沿處涂上膠水，將其居中水平貼在所述網(wǎng)框上，讓不銹鋼片與絲網(wǎng)互相粘住； 膠水干燥后，將不銹鋼片下方的絲網(wǎng)裁掉，不銹鋼片和鋁框之間的絲網(wǎng)將不銹鋼片繃緊； 將繃緊的鋼片放入激光切割機(jī)中，根據(jù)設(shè)計(jì)的圖案，用激光切割出需要的通孔圖案，制得不銹鋼掩膜； 提供掩膜板框架，將切割好的帶網(wǎng)框的不銹鋼掩膜套在掩膜板框架上，將帶通孔圖案的不銹鋼掩膜用激光焊接機(jī)焊接在掩膜板框架上； 利用激光切割機(jī)沿掩膜板框架外邊沿將不銹鋼片和網(wǎng)框切割去除，獲得掩膜板半成品； 取另一不銹鋼片，用激光切割機(jī)切割大通孔圖案，該大通孔圖案跟所述掩膜板半成品中的通孔圖案一一對(duì)應(yīng)，但是每個(gè)大通孔的開(kāi)口都比掩膜板半成品中的通孔的開(kāi)口大，制得不銹鋼保護(hù)片； 將掩膜板半成品以不銹鋼掩膜朝下，框架朝上放磁桌上，將不銹鋼保護(hù)片蓋在掩膜板半成品不銹鋼掩膜上，使得只有不銹鋼掩膜通孔邊沿部分才露出，吸住保護(hù)片，用砂紙打磨不銹鋼掩膜每個(gè)通孔邊沿，去除毛刺； 將打磨后的掩膜板半成品，清洗后烘干獲得最終的掩膜板成品。

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