信越化學工業株式會社郡大佑獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉信越化學工業株式會社申請的專利有機膜形成用組成物、圖案形成方法、以及聚合物獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111948903B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010413700.9,技術領域涉及:G03F7/004;該發明授權有機膜形成用組成物、圖案形成方法、以及聚合物是由郡大佑;中原貴佳;澤村昂志;佐藤裕典;山本靖之設計研發完成,并于2020-05-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本有機膜形成用組成物、圖案形成方法、以及聚合物在說明書摘要公布了:本發明涉及有機膜形成用組成物、圖案形成方法、以及聚合物。本發明提供一種有機膜形成用組成物,其含有碳含量高而有熱硬化性的聚合物,會展現高蝕刻耐性、優良的扭曲耐性,并提供使用其的圖案形成方法及適合其的聚合物。有機膜形成用組成物包含具下列通式1A或1B表示的部分結構的聚合物及有機溶劑。上述通式1A中,Ar1、Ar2表示也可以有取代基的苯環或萘環,X為單鍵或亞甲基,L為下列中的任一者;上式中的破折線代表價鍵,R為氫原子或碳數1~20的1價有機基團。上述通式1B中,W1為羥基、碳數1~10的烷氧基或也可以有取代基的具至少1個以上的芳香環的有機基團,Ar1、Ar2、X、L同前所述。
本發明授權有機膜形成用組成物、圖案形成方法、以及聚合物在權利要求書中公布了:1.一種有機膜形成用組成物,其特征為含有具有下列通式1A表示的部分結構的聚合物及有機溶劑; 該通式1A中,Ar1、Ar2為也可以有取代基的苯環或萘環,X為單鍵或亞甲基,L為下列中的任一者; 上式中的破折線表示價鍵,R為氫原子或碳數1~20的1價有機基團。
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