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龍圖騰網獲悉亦亨電子(上海)有限公司申請的專利一種物理氣相沉積靶材更換裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120400763B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510905022.0，技術領域涉及：C23C14/22；該發明授權一種物理氣相沉積靶材更換裝置是由孫曉光;賈鵬寬;王杰;楊志翔設計研發完成，并于2025-07-02向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種物理氣相沉積靶材更換裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及焊接技術領域，具體是一種物理氣相沉積靶材更換裝置，包括設備基臺、靶材裝載單元、靶材遷移單元及輸出軌道。設備基臺設裝載腔口，裝載單元的承載臺體升降式安裝于基臺底部，穿過腔口外露，輸出軌道架設于腔口側沿。遷移單元含雙遷移軌道，兩側定位架同步滑動，各載夾持機件相對布置；第二定位架通過延伸頂架搭載惰性氣體補充器。裝置通過伺服電機與同步帶實現自動化遷移，升降與定位精度協同確保靶材安裝誤差，縮短更換周期及工藝調試時間。全程在基臺內完成，減少人員接觸風險，結合惰性氣體保護技術，提升生產效率與工藝穩定性。

本發明授權一種物理氣相沉積靶材更換裝置在權利要求書中公布了：1.一種物理氣相沉積靶材更換裝置，包括設備基臺（1）、靶材裝載單元（2）、靶材遷移單元（3）和靶材輸出軌道（4），其特征在于： 所述設備基臺（1）的臺面開設有裝載腔口（11），所述靶材裝載單元（2）包含承載基座（21）及設置于所述承載基座（21）頂部的承載臺體（22）；其中， 所述承載臺體（22）通過升降驅動機構呈可升降式安裝于所述承載基座（21）上方，其臺面經所述裝載腔口（11）貫穿所述設備基臺（1）臺面形成外露工作位，所述靶材輸出軌道（4）架設于所述裝載腔口（11）的臺面邊緣，且其輸送端面與所述承載臺體（22）的臺面保持共面銜接； 所述靶材遷移單元（3）包含平行設置于所述裝載腔口（11）兩側的遷移軌道（31），第一定位架（32）和第二定位架（33）分別通過滑移機構對稱安裝于兩側遷移軌道（31）并構成同步位移配合，各定位架均配置有朝向裝載腔口（11）軸線方向設置的夾持機件（34）； 所述第二定位架（33）頂部延伸設置有延伸頂架（35），所述延伸頂架（35）的懸臂端裝配有惰性氣體補充器（36），其噴氣端口朝向靶材裝載單元（2）的工作區域設置。

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