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龍圖騰網獲悉昆山協鑫光電材料有限公司申請的專利一種刻蝕方法、刻蝕裝置及鈣鈦礦組件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120390571B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510873742.3，技術領域涉及：H10K71/60；該發明授權一種刻蝕方法、刻蝕裝置及鈣鈦礦組件是由請求不公布姓名設計研發完成，并于2025-06-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種刻蝕方法、刻蝕裝置及鈣鈦礦組件在說明書摘要公布了：本發明實施例公開一種刻蝕方法、刻蝕裝置及鈣鈦礦組件。該刻蝕方法用于對待刻蝕電池的頂電極進行刻蝕；該刻蝕方法包括：將高斯光束整形成方形平頂光束；調節方形平頂光束的預設聚焦位置；控制待刻蝕電池與方形平頂光束至相對位置處，并控制待刻蝕電池與方形平頂光束沿第一方向和或第二方向相對運動；根據預設聚焦位置對待刻蝕電池進行刻蝕，使刻蝕形成的刻槽深度大于或等于頂電極的厚度且小于頂電極與鈣鈦礦功能層的厚度之和。本發明實施例的技術方案，通過將高斯光束轉換為方形平頂光束，且產生的方形平頂光束焦深下沿只作用在膜層表面的頂電極，降低實際使用功率且可以避免激光對鈣鈦礦組件中其他功能層的影響，提高鈣鈦礦組件的性能。

本發明授權一種刻蝕方法、刻蝕裝置及鈣鈦礦組件在權利要求書中公布了：1.一種刻蝕方法，其特征在于，所述刻蝕方法用于對待刻蝕電池的頂電極進行刻蝕；所述刻蝕方法包括： 將高斯光束整形成方形平頂光束； 調節所述方形平頂光束的預設聚焦位置； 控制待刻蝕電池與所述方形平頂光束至相對位置處，并控制所述待刻蝕電池與所述方形平頂光束沿第一方向和或第二方向相對運動，所述第一方向與所述第二方向不同； 根據所述預設聚焦位置對所述待刻蝕電池進行刻蝕，使刻蝕形成的刻槽深度大于或等于頂電極的厚度且小于所述頂電極與鈣鈦礦功能層的厚度之和； 所述調節所述方形平頂光束的預設聚焦位置，包括： 通過調節光學模塊的焦距，以確定預設焦點位置；其中，所述預設焦點位置為所述方形平頂光束的預設聚焦位置； 所述通過調節光學模塊的焦距，以確定預設焦點位置，包括： 根據所述光學模塊出口與頂電極表面的距離的最大值和最小值確定所述光學模塊出口與所述頂電極表面的距離的調節范圍； 將所述調節范圍按照相等預設間距進行N次劃線； 獲取迭代次數和初始激光功率，根據所述迭代次數和所述初始激光功率確定N次劃線時的激光功率； 根據所述激光功率確定功率密度，并將所述功率密度與所述頂電極的消融閾值比較； 當所述功率密度與所述消融閾值相等，或者所述功率密度與所述消融閾值的差值小于或等于預設差值時，確定所述光學模塊的焦距以及預設焦點位置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人昆山協鑫光電材料有限公司，其通訊地址為：215300 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮玉楊路366號6號房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。