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龍圖騰網(wǎng)獲悉泰州芯源半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種半導(dǎo)體靜態(tài)測試用上下料設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120376445B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510865224.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體靜態(tài)測試用上下料設(shè)備是由張麗;謝國平;李臘梅設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-06-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種半導(dǎo)體靜態(tài)測試用上下料設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)運技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體靜態(tài)測試用上下料設(shè)備。包括有機(jī)架，所述機(jī)架設(shè)置有對稱分布的動力模塊，對稱分布的所述動力模塊共同設(shè)置有對稱分布的輸送帶，對稱分布的所述輸送帶之間固接有陣列分布的吸風(fēng)件，所述吸風(fēng)件為軟性易拉伸材質(zhì)，所述機(jī)架固接有對稱分布的分流殼，所述分流殼固接有氣泵，所述分流殼滑動連接有密封帶，所述氣泵的吸氣口通過管道與分流腔連通，所述吸風(fēng)件固接且連通有固定殼。本發(fā)明在真空吸盤自動化抓取晶圓的過程中通過吸風(fēng)件和氣泵為晶圓提供雙相固定，防止硬性固定可能會破壞晶圓的同時，防止機(jī)械振動等外界因素導(dǎo)致晶圓與傳送帶產(chǎn)生相對位移，保證晶圓上料效率。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體靜態(tài)測試用上下料設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體靜態(tài)測試用上下料設(shè)備，其特征是，包括有機(jī)架（1），所述機(jī)架（1）上設(shè)置有對稱分布的動力模塊（2），對稱分布的所述動力模塊（2）共同設(shè)置有對稱分布的輸送帶（3），對稱分布的所述輸送帶（3）之間固接有陣列分布的吸風(fēng)件（4），所述機(jī)架（1）內(nèi)固接有對稱分布的分流殼（5），所述吸風(fēng)件（4）遠(yuǎn)離所述分流殼（5）的部分為軟性易拉伸材質(zhì)，所述分流殼（5）通過安裝架固接有氣泵（6），所述分流殼（5）滑動連接有密封帶（7），所述分流殼（5）與所述密封帶（7）共同組成分流腔，所述氣泵（6）的吸氣口通過管道與分流腔連通，所述吸風(fēng)件（4）固接且連通有固定殼（8），所述固定殼（8）連通有對稱分布的引流管（9），所述引流管（9）與相鄰所述密封帶（7）固接，所述固定殼（8）通過所述引流管（9）與分流腔連通； 還包括有對稱分布的滑動架（10），對稱分布的所述滑動架（10）均滑動連接于所述固定殼（8）上，所述滑動架（10）固接有封堵塞（11），所述封堵塞（11）用于對所述引流管（9）進(jìn)行封堵，所述固定殼（8）內(nèi)設(shè)置有對稱分布且用于根據(jù)所述固定殼（8）內(nèi)狀態(tài)為所述滑動架（10）提供阻尼的阻尼機(jī)構(gòu)。

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