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龍圖騰網獲悉北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)申請的專利晶圓緩存機構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114649249B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210238355.9，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權晶圓緩存機構是由王洪宇;李思;李崢;賀威龍設計研發完成，并于2022-03-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓緩存機構在說明書摘要公布了：本發明提供一種晶圓緩存機構，涉及半導體設備領域。晶圓緩存機構包括第一保持部、第二保持部和連接部，第一保持部包括第一位置，第二保持部包括第二位置，連接部的第一端與第一位置連接，連接部的與第一端相對的第二端與第二位置連接，第一位置和第二位置兩者中的一者中的第一點被設置為能夠承受具有由第一點與第一位置和第二位置兩者中的另一者中的第二點二者共同確定的方向的力，當第一點承受所述力時，第一保持部和第二保持部發生彈性形變，連接部沿所述力的方向運動。通過本申請的晶圓緩存機構，解決了現有的晶圓緩存設備使用直角軸承產生的油污形成的顆粒物會對晶圓造成污染的問題，保證了晶圓的清潔。

本發明授權晶圓緩存機構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓緩存機構，其特征在于，所述晶圓緩存機構包括第一保持部、第二保持部和連接部，所述第一保持部包括第一位置，所述第二保持部包括第二位置，所述連接部的第一端與所述第一位置連接，所述連接部的與所述第一端相對的第二端與所述第二位置連接， 所述第一位置和所述第二位置兩者中的一者中的第一點被設置為能夠承受具有由所述第一點與所述第一位置和所述第二位置兩者中的另一者中的第二點二者共同確定的方向的力， 當所述第一點承受所述力時，所述第一保持部和所述第二保持部發生彈性形變，所述連接部沿所述力的方向運動； 所述連接部形成為圓筒狀，所述連接部具有軸線，所述軸線沿所述軸線經過所述第一位置的形心和第二位置的形心，所述軸線被設置為沿著重力方向延伸； 所述晶圓緩存機構還包括限位部，所述連接部的部分設置在所述限位部的內部，所述限位部用于對所述第一保持部進行限位； 所述限位部包括彼此連接的第一部分和第二部分，所述第一部分與所述第一保持部連接，所述第二部分的背對所述第一部分的端部形成有向所述連接部延伸的限位壁，所述第一部分的直徑大于所述第二部分的直徑； 所述晶圓緩存機構還包括限位彈性件，所述連接部形成有向所述連接部的外部凸出的凸起，所述限位彈性件與所述凸起和所述限位壁二者連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區泰河三街1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。