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龍圖騰網獲悉蘇州珂瑪材料科技股份有限公司申請的專利一種硅片定位結構及定位方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113964072B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111354627.3，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權一種硅片定位結構及定位方法是由黎寬;劉先兵設計研發完成，并于2021-11-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種硅片定位結構及定位方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種硅片定位結構，該結構置于冷盤表面并與冷盤固定，包括：定位部，該定位部為表面向內凹陷的貫通條狀件，其凹陷貫通部分，于定位部底部形成與條狀定位部延伸方向一致的腰槽，定位部本體的外壁面為自頂向下地朝遠離腰槽方向延伸的傾斜延伸面；墊片層，該墊片層為，自定位部一端的端底朝向遠離定位部的方向水平延伸的片狀結構，墊片層伸出所述定位部的部分形成一繞設定位部該側端面的平整放置面，其中，固定件穿過腰槽后與冷盤上的定位孔適配定位，鎖緊狀態下，固定件將硅片定位結構與冷盤固定，調整狀態下，腰槽被所述固定件限位地于冷盤表面移動，其將導向結構和墊片結構一體成型，且能夠在冷盤上滑動以實現墊片靈活定位調節。

本發明授權一種硅片定位結構及定位方法在權利要求書中公布了：1.一種硅片定位結構，該硅片定位結構置于冷盤表面并與冷盤表面的定位孔固定，其特征在于，所述硅片定位結構包括： 定位部，該定位部為表面向內凹陷的貫通條狀件，其凹陷貫通部分，于所述定位部底部形成與條狀定位部延伸方向一致的腰槽，所述定位部本體的外壁面為自頂向下地朝遠離所述腰槽方向延伸的傾斜延伸面，所述定位部的至少一端，朝向所述腰槽方向形成向內凹陷的讓位部，所述讓位部形成弧狀表面，該弧狀表面兩側的弧形端面進一步延伸，并各自通過一凹陷的弧面與所述定位部的外側面形成對接； 墊片層，將所述讓位部及其兩側的弧面整體定義為導向部，則墊片層為設置于所述導向部底部，并朝向遠離所述定位部的方向水平延伸的片狀結構，所述墊片層形成一繞設所述導向部的平整放置面，其中， 固定件穿過所述腰槽后與冷盤上的定位孔適配定位，鎖緊狀態下，固定件將所述硅片定位結構與冷盤固定，調整狀態下，所述腰槽被所述固定件限位地于所述冷盤表面平移或者繞所述固定件作旋轉移動，硅片從所述導向部的多個位置滑入所述硅片定位結構， 設定所述冷盤上的一點為中心點，并以該中心點確定等邊三角形三個頂點的位置，將至少三個硅片定位結構設置于該等邊三角形的三個頂點上。

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