中國電子科技集團公司第十三研究所劉林杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國電子科技集團公司第十三研究所申請的專利基于HTCC技術的布線結構及其制備方法、陶瓷外殼獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113937087B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111107317.1,技術領域涉及:H01L23/498;該發明授權基于HTCC技術的布線結構及其制備方法、陶瓷外殼是由劉林杰;周揚帆;喬志壯;王軻;任贊;李杰;張丹;楊曉蓮設計研發完成,并于2021-09-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于HTCC技術的布線結構及其制備方法、陶瓷外殼在說明書摘要公布了:本發明提供了一種基于HTCC技術的布線結構及其制備方法、陶瓷外殼,屬于高頻高速陶瓷封裝技術領域,基于HTCC技術的布線結構包括:下層陶瓷件;以及上層陶瓷件,與所述下層陶瓷件共同圍合形成空氣腔;其中,在所述下層陶瓷件構成所述空氣腔的上表面形成有至少一條的平面GCPW傳輸線,在所述下層陶瓷件于所述空氣腔之外部分的上表面、所述上層陶瓷件的上表面及側表面共同形成有至少一條的立式GCPW傳輸線,所述立式GCPW傳輸線在所述下層陶瓷件上的投影與所述平面GCPW傳輸線交叉設置。本發明提供的基于HTCC技術的布線結構,相較于具有相同特性阻抗的埋層GCPW結構,中心導帶線寬加寬,更加方便加工制造,減小工藝生產難度,且易于實現。
本發明授權基于HTCC技術的布線結構及其制備方法、陶瓷外殼在權利要求書中公布了:1.一種基于HTCC技術的布線結構的制備方法,其特征在于,基于HTCC技術的布線結構包括: 下層陶瓷件;以及 上層陶瓷件,與所述下層陶瓷件共同圍合形成空氣腔; 其中,在所述下層陶瓷件構成所述空氣腔的上表面形成有至少一條的平面GCPW傳輸線,且所述空氣腔在所述平面GCPW傳輸線的兩端開口,在所述下層陶瓷件于所述空氣腔之外部分的上表面、所述上層陶瓷件的上表面及側表面共同形成有至少一條的立式GCPW傳輸線,所述立式GCPW傳輸線在所述下層陶瓷件上的投影與所述平面GCPW傳輸線交叉設置; 所述基于HTCC技術的布線結構的制備方法,包括以下步驟: 制作生瓷片; 在生瓷片上加工出空氣腔; 在生瓷片構成空氣腔的表面制作平面GCPW傳輸線金屬化圖形; 在空氣腔內部填入犧牲材料,對生瓷片進行疊片處理; 對疊片后的生瓷片進行層壓處理,通過工藝參數調整控制層間致密度和腔體形狀; 將生瓷片切割裂片成單個生瓷件; 在單個生瓷件的表面制作立式GCPW傳輸線金屬化圖形; 對生瓷件進行燒結處理,在生瓷件燒結過程中,犧牲材料燒失,制備出具有空氣腔的陶瓷件; 對陶瓷件進行表面鍍鎳、表面鍍金處理,得到基于HTCC技術的布線結構。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第十三研究所,其通訊地址為:050051 河北省石家莊市合作路113號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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