買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉總督科技股份有限公司申請的專利預治式晶圓載盤的置載裝置及其方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115621174B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110802138.3，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權預治式晶圓載盤的置載裝置及其方法是由宋茂炎設計研發完成，并于2021-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本預治式晶圓載盤的置載裝置及其方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種預治式晶圓載盤的置載裝置及其方法，是在一第一位移機構周側設有晶圓環置載機構、晶圓置載機構、遮蓋置載機構及機械臂；第一位移機構具有一第一座體，于一載盤上設有復數組合件承載部，各組合件承載部周緣設有復數夾具，機械臂的活動端設有影像攫取組件及裝卸機構；晶圓環置載機構將一晶圓環置于第一座體上，晶圓置載機構將一晶圓置于晶圓環內，遮蓋置載機構將一遮蓋疊置于晶圓上形成一組合件，機械臂校正裝卸機構，以正確對應于載盤上一待組裝的組合件承載部，裝卸機構解鎖各夾具，將組合件由第一座體移置于待組裝的組合件承載部上，然后鎖掣各夾具，以將組合件固定于該載盤上。

本發明授權預治式晶圓載盤的置載裝置及其方法在權利要求書中公布了：1.一種預治式晶圓載盤的置載裝置，其特征在于，包括： 一第一位移機構，連接并受一控制模塊驅動，該第一位移機構具有一能往復移動的第一座體，于該第一座體上設有一晶圓預治部； 一設置于該第一位移機構旁側的晶圓環置載機構，連接并受驅動于該控制模塊，該晶圓環置載機構具有一承托晶圓環的晶圓環供料座，于該晶圓環供料座旁側設有一晶圓環移置組件，該晶圓環移置組件能攜取及釋放該晶圓環，且該晶圓環移置組件能攜帶該晶圓環于該晶圓環供料座與該第一座體的晶圓預治部之間進行活動； 一設置于該第一位移機構旁側的晶圓置載機構，連接并受驅動于該控制模塊，該晶圓置載機構具有一承托晶圓的晶圓供料座，于該晶圓供料座旁側設有一晶圓移置組件，該晶圓移置組件具有一晶圓托架，且該晶圓托架能受該晶圓移置組件帶動而能攜帶該晶圓于該晶圓供料座與該第一座體的晶圓預治部之間進行活動； 一設置于該第一位移機構旁側的遮蓋置載機構，連接并受驅動于該控制模塊，該遮蓋置載機構具有一承托遮蓋的遮蓋供料座，于該遮蓋供料座旁側設有一遮蓋移置組件，該遮蓋移置組件能攜取及釋放該遮蓋，且于該遮蓋供料座與該第一座體的晶圓預治部之間進行活動； 一載盤，表面上設有至少一組合件承載部，于各組合件承載部周側分別設有復數夾具； 一機械臂，連接并受驅動于該控制模塊，該機械臂具有一能移動于該第一座體與該載盤之間的活動端，于該活動端上至少設有一裝卸機構。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人總督科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。