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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利顯示方法和基板處理裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113947517B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110777046.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F11/30；該發(fā)明授權(quán)顯示方法和基板處理裝置是由植松治志;今井鄉(xiāng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-07-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本顯示方法和基板處理裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種顯示方法和基板處理裝置。該顯示方法用于顯示表示與基板處理有關(guān)的信息的多個(gè)參數(shù)，包括以下工序：獲取以預(yù)先設(shè)定的周期進(jìn)行采樣得到的多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值、以及與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息；基于與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息，以進(jìn)行了采樣的順序在多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值中提取發(fā)生了隨時(shí)間變化的測(cè)定值，或者提取所述發(fā)生了隨時(shí)間變化的測(cè)定值和在緊挨該測(cè)定值之前進(jìn)行采樣得到的測(cè)定值；將提取出的多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值同與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息相關(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器部；基于存儲(chǔ)器部中存儲(chǔ)的與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息，將多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值繪制成曲線圖；以及顯示繪制出的所述曲線圖。

本發(fā)明授權(quán)顯示方法和基板處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種顯示方法，用于顯示表示與基板處理有關(guān)的信息的多個(gè)參數(shù)，所述顯示方法包括以下工序： 獲取以預(yù)先設(shè)定的周期進(jìn)行采樣得到的多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值、以及與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息； 在將多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器部之前，基于與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息，按照進(jìn)行了采樣的順序在多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值中提取發(fā)生了隨時(shí)間變化的測(cè)定值，或者提取所述發(fā)生了隨時(shí)間變化的測(cè)定值和在緊挨該發(fā)生了隨時(shí)間變化的測(cè)定值之前進(jìn)行采樣得到的測(cè)定值； 將提取出的多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值同與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息相關(guān)聯(lián)地存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)器部； 基于存儲(chǔ)器部中存儲(chǔ)的與所述測(cè)定值的采樣時(shí)間有關(guān)的信息，將多個(gè)所述參數(shù)的測(cè)定值繪制成曲線圖；以及 顯示繪制出的所述曲線圖。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。