HOYA株式會社柳敏相獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉HOYA株式會社申請的專利光掩模、光掩模的制造方法、顯示裝置用器件的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113253564B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110095839.8，技術領域涉及：G03F1/26；該發明授權光掩模、光掩模的制造方法、顯示裝置用器件的制造方法是由柳敏相;裵囧洙;金鐘煜;曹河鉉設計研發完成，并于2021-01-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本光掩模、光掩模的制造方法、顯示裝置用器件的制造方法在說明書摘要公布了：本發明涉及光掩模、光掩模的制造方法、顯示裝置用器件的制造方法，提供具有通過利用曝光裝置進行曝光而將微細的線條圖案轉印至被轉印體上的優異的轉印性能的光掩模。一種在透明基板上具備轉印用圖案的顯示裝置制造用的光掩模，其中，轉印用圖案包含線條圖案。線條圖案具有沿著外緣以寬度E形成的邊緣區域、以及在邊緣區域以外的部分形成的寬度C的中央區域。邊緣區域具有使對于光掩模進行曝光的曝光光的相位偏移大致180度的相移作用，并且相對于曝光光具有透過率T1％其中0T110。中央區域由透光部或半透光部形成。
本發明授權光掩模、光掩模的制造方法、顯示裝置用器件的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種光掩模，其是在透明基板上具備轉印用圖案的顯示裝置制造用的光掩模，其中， 所述轉印用圖案具有線條-間隙圖案，該線條-間隙圖案包含寬度Lμm的線條圖案和曝光光透過的寬Sμm的間隙圖案， 所述線條圖案具有沿著外緣以寬度E形成的邊緣區域、以及在所述邊緣區域以外的部分形成的寬度C的中央區域， 所述邊緣區域具有使對于所述光掩模進行曝光的所述曝光光的相位偏移180±20度的相移作用，并且相對于所述曝光光具有透過率T1％且0T110， 所述中央區域由透光部或半透光部形成。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人HOYA株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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