東京毅力科創株式會社稻益壽史獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利接合裝置和接合方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112018016B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010437753.4，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權接合裝置和接合方法是由稻益壽史;篠塚真一設計研發完成，并于2020-05-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本接合裝置和接合方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種接合裝置和接合方法，適當地進行接合中的基板之間的位置對準。該接合裝置將第一基板與第二基板接合，具備：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板；第一攝像部，其設置于所述第一保持部，對保持于所述第二保持部的所述第二基板進行攝像；第一光照射部，其設置于所述第一保持部，在所述第一攝像部進行攝像時向所述第二基板照射光；第二攝像部，其設置于所述第二保持部，對保持于所述第一保持部的所述第一基板進行攝像；以及第二光照射部，其設置于所述第二保持部，在所述第二攝像部進行攝像時向所述第一基板照射光，其中，所述第一光照射部和所述第二光照射部各自與照射白色光的第一光源連接。
本發明授權接合裝置和接合方法在權利要求書中公布了：1.一種接合裝置，將第一基板與第二基板接合，該接合裝置具備： 第一保持部，其保持所述第一基板； 第二保持部，其保持所述第二基板； 第一攝像部，其設置于所述第一保持部，對保持于所述第二保持部的所述第二基板進行攝像； 第一光照射部，其設置于所述第一保持部，在所述第一攝像部進行攝像時向所述第二基板照射光； 第二攝像部，其設置于所述第二保持部，對保持于所述第一保持部的所述第一基板進行攝像；以及 第二光照射部，其設置于所述第二保持部，在所述第二攝像部進行攝像時向所述第一基板照射光， 其中，所述第一光照射部和所述第二光照射部各自與照射白色光的第一光源連接， 所述第一基板和所述第二基板上均形成有多個對準標記， 在利用所述第一攝像部對所述第二基板進行攝像且從所述第一光照射部向所述第二基板照射白色光時，所述第一光照射部僅照射白色光，在利用所述第二攝像部對所述第一基板進行攝像且從所述第二光照射部向所述第一基板照射白色光時，所述第二光照射部僅照射白色光。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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