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龍圖騰網(wǎng)獲悉吾拾微電子(蘇州)有限公司申請的專利一種半導(dǎo)體器件對位裝置及對位方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120497198B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510978241.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體器件對位裝置及對位方法是由萬士元;丁紹春;沈達(dá);薛亞玲設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-07-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種半導(dǎo)體器件對位裝置及對位方法在說明書摘要公布了：本申請涉及一種半導(dǎo)體器件對位裝置及對位方法，包括：位于鍵合腔內(nèi)的承接組件，承接組件包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)和至少三組承接機(jī)構(gòu)，每組承接機(jī)構(gòu)均具有第一承接部和第二承接部；第一承接部處于縮回狀態(tài)時，第一承接部與第二承接部在高度方向無重疊，第一承接部處于伸出狀態(tài)時，每個第一承接部與第一半導(dǎo)體器件直徑的重合長度存在區(qū)別，使得第一承接部與第一半導(dǎo)體器件的重合長度較短的一端先下落，重合度較短的第一承接部可以以距離第二半導(dǎo)體器件相對較短的距離下落至第二半導(dǎo)體器件上，且以逐漸下落的方式與第二半導(dǎo)體器件貼合，保證第一半導(dǎo)體器件每次下落至第二半導(dǎo)體器件上的位置一致，不會與第二半導(dǎo)體器件產(chǎn)生偏移，實現(xiàn)高精度的對位。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體器件對位裝置及對位方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體器件對位裝置，其特征在于，包括： 鍵合腔，與真空裝置連接； 鍵合組件，包括位于所述鍵合腔內(nèi)且上下設(shè)置的壓板和位于壓板下方的吸附板，所述吸附板用于承接半導(dǎo)體器件，所述壓板在外力作用下可相對于吸附板上下移動； 承接組件，位于鍵合腔內(nèi)，包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)、與所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接的至少三組承接機(jī)構(gòu)，至少三組所述承接機(jī)構(gòu)沿所述吸附板周向均勻間隔設(shè)置，至少三組所述承接機(jī)構(gòu)具有用于承接第一半導(dǎo)體器件的第一承接部和位于所述第一承接部下方用于承接第二半導(dǎo)體器件的第二承接部，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)能夠同時驅(qū)動三組所述承接機(jī)構(gòu)上下移動，以使所述第一半導(dǎo)體器件和第二半導(dǎo)體器件上下疊放在所述吸附板上； 所述第一承接部在外力作用下具有伸出狀態(tài)和縮回狀態(tài)，所述第一承接部處于縮回狀態(tài)時，所述第一承接部與第二承接部在高度方向無重疊，所述第一承接部處于伸出狀態(tài)時，所述第一承接部與第二承接部在高度方向上存在至少部分重疊，且每個所述第一承接部與所述第一半導(dǎo)體器件直徑的重合長度存在區(qū)別。

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