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龍圖騰網(wǎng)獲悉無錫尚積半導(dǎo)體科技股份有限公司申請的專利電磁對接晶圓傳送裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120453216B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510943860.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)電磁對接晶圓傳送裝置是由原國棟;范雄;朱建雄;田文康;王兆豐;王世寬設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-07-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本電磁對接晶圓傳送裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了一種電磁對接晶圓傳送裝置，包括第一驅(qū)動件、第一滑軌、中轉(zhuǎn)腔、干泵、第二滑軌、承托件、第二驅(qū)動件和三組電磁鐵；通過第二電磁鐵，利用電磁對位吸附實現(xiàn)了第一滑軌和第二滑軌的精準(zhǔn)自動對中；通過第一電磁鐵和第三電磁鐵的配合，既實現(xiàn)了承托件驅(qū)動主體的快速、便捷切換，避免了傳統(tǒng)高精度機械手成本高、調(diào)試維護(hù)復(fù)雜的問題，利用電磁吸附固定承托件，又實現(xiàn)了承托件在軌道上的精準(zhǔn)移動，避免了人工操作效率低、污染風(fēng)險高及位置偏差大的問題；本申請?zhí)峁┑碾姶艑泳A傳送裝置通過電磁吸附、雙驅(qū)動切換與軌道對接的協(xié)同設(shè)計，實現(xiàn)了晶圓在大氣環(huán)境與真空工藝腔之間的全自動轉(zhuǎn)移。

本發(fā)明授權(quán)電磁對接晶圓傳送裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種電磁對接晶圓傳送裝置，其特征在于，包括： 第一驅(qū)動件和第一滑軌，所述第一驅(qū)動件用于驅(qū)使所述第一滑軌運動； 中轉(zhuǎn)腔，所述中轉(zhuǎn)腔的一端設(shè)有可啟閉的第一門閥、另一端設(shè)有可啟閉的第二門閥，所述第一門閥面向所述第一滑軌，所述第二門閥連通工藝腔； 干泵，用于對所述中轉(zhuǎn)腔抽真空； 第二滑軌，設(shè)于所述中轉(zhuǎn)腔內(nèi)，用于對接所述第一滑軌； 承托件，用于承載晶圓，并能夠沿所述第一滑軌和所述第二滑軌運動； 第二驅(qū)動件，設(shè)于所述中轉(zhuǎn)腔內(nèi)，用于驅(qū)使所述承托件運動； 第一電磁鐵，設(shè)于所述第一滑軌上，通電時能夠吸附固定所述承托件； 第二電磁鐵，設(shè)于所述第一滑軌或者所述第二滑軌的對接端，通電時能夠吸附固定所述第一滑軌和所述第二滑軌，以便二者緊密對齊； 第三電磁鐵，設(shè)于所述第二驅(qū)動件上，通電時能夠吸附所述承托件以切換驅(qū)動主體； 工作時，所述第一電磁鐵處于通電狀態(tài)、將所述承托件固定于所述第一滑軌上，所述承托件接取待處理的晶圓后，所述第一驅(qū)動件驅(qū)使所述第一滑軌攜所述承托件和所述晶圓經(jīng)所述第一門閥進(jìn)入所述中轉(zhuǎn)腔； 所述第二電磁鐵通電，實現(xiàn)所述第一滑軌與所述第二滑軌精準(zhǔn)對接； 所述第三電磁鐵通電、吸附所述承托件，所述第一電磁鐵斷電、釋放所述承托件，所述第二驅(qū)動件驅(qū)使所述承托件從所述第一滑軌轉(zhuǎn)移至所述第二滑軌； 所述第一驅(qū)動件驅(qū)使所述第一滑軌撤離所述中轉(zhuǎn)腔； 所述第一門閥和所述第二門閥均處于關(guān)閉狀態(tài)后，所述干泵能夠?qū)λ鲋修D(zhuǎn)腔抽真空，以便于調(diào)控所述中轉(zhuǎn)腔內(nèi)的氣壓、使之接近所述工藝腔的工作壓力； 完成泄壓后，所述第二驅(qū)動件能夠驅(qū)使所述承托件攜所述晶圓經(jīng)所述第二門閥進(jìn)入所述工藝腔。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人無錫尚積半導(dǎo)體科技股份有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)長江南路35-312號廠房；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。