河北同光半導體股份有限公司崔景光獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉河北同光半導體股份有限公司申請的專利一種提升碳化硅清洗刷頭性能的保養方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120421264B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510933361.X，技術領域涉及：B08B3/08；該發明授權一種提升碳化硅清洗刷頭性能的保養方法是由崔景光;鄭向光;湯歡;張曉云;李青璇設計研發完成，并于2025-07-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種提升碳化硅清洗刷頭性能的保養方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體制造技術領域，具體公開一種提升碳化硅清洗刷頭性能的保養方法。本發明通過采用去離子水浸泡、氨水浸泡、自旋轉溢流清洗，結合采用雙氧水和氨水對刷頭與襯底進行雙向清潔的方法，有效解決了刷頭本身材質導致的碳化硅襯底顆粒超標或者顆粒聚集的問題，有效降低了不合格產率，且延長刷頭的使用壽命至少1倍以上，降低了因更換刷頭造成的停機頻率，提高了生產效率，實現了刷頭高凈化高穩定性投入生產，適合工業化生產應用，在碳化硅功率器件、外延片制造等領域具有廣闊的應用前景。
本發明授權一種提升碳化硅清洗刷頭性能的保養方法在權利要求書中公布了：1.一種提升碳化硅清洗刷頭性能的保養方法，其特征在于，包括以下步驟： S1，將刷頭浸入去離子水中，浸泡第一預設時間后，采用流動的去離子水沖洗刷頭，再將刷頭浸入氨水溶液a中，浸泡第二預設時間，然后依次采用去離子水沖洗和自旋轉溢流清洗，得預處理刷頭； S2，依次采用雙氧水溶液、第一去離子水、氨水溶液b和第二去離子水，通過所述預處理刷頭對潔凈碳化硅襯底進行刷洗，干燥，得刷洗碳化硅襯底； S3，檢測所述碳化硅襯底表面的顆粒數X1，若X1-X0≤10，則刷頭可用；若X1-X0＞10，則進入S4；其中，X0為所述潔凈碳化硅襯底表面初始的顆粒數； S4，依次采用雙氧水溶液、第一去離子水、氨水溶液b和第二去離子水，通過刷頭對所述刷洗碳化硅襯底進行再次刷洗，干燥，得潔凈碳化硅襯底。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人河北同光半導體股份有限公司，其通訊地址為：071051 河北省保定市北三環6001號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號