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龍圖騰網獲悉深圳市鑫億晶科技有限公司申請的專利一種石英晶片激光切割的方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120395202B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510922726.9，技術領域涉及：B23K26/38；該發明授權一種石英晶片激光切割的方法及系統是由周旦興設計研發完成，并于2025-07-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種石英晶片激光切割的方法及系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種石英晶片激光切割的方法，包括以下步驟：將晶片吸附于作為切割平臺的真空吸盤上；采用超快紅外激光進行晶片的輪廓切割，在晶片上形成未貫穿的弱化層；采用超快紫外激光對切割輪廓進行邊緣修整；通過腐蝕液處理使晶片的弱化層裂開，將晶片分離成獨立晶片單元。本發明的石英晶片激光切割的方法通過超快紅外激光精準形成弱化層后，采用紫外激光對切割邊緣進行原子級修整，并結合腐蝕液對弱化層的選擇性蝕刻，可以實現亞微米級切割精度，較傳統單一激光切割的精度可以提升4倍。

本發明授權一種石英晶片激光切割的方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種石英晶片激光切割的方法，其特征在于，包括以下步驟： 101）將晶片吸附于作為切割平臺的真空吸盤上，切割平臺采用熱導率≥150Wm·K的陶瓷材料； 102）利用激光測距傳感器實時測量石英晶片的表面高度，通過壓電陶瓷微調機構動態調整切割平臺的高度，補償石英晶片表面因表面平整度產生的高度誤差；采用超快紅外激光進行晶片的輪廓切割，在晶片上形成未貫穿的弱化層；所述的超快紅外激光為1064nm超快紅外激光，脈沖寬度≤10ps，單脈沖能量50-100μJ，掃描速度200-500mms； 103）采用超快紫外激光對切割輪廓進行邊緣修整；超快紫外激光為355nm超快紫外激光沿同一路徑二次掃描修邊，單脈沖能量5-10μJ，掃描速度300-600mms； 104）對切割后晶片施加雙頻超聲波振動消除應力；通過腐蝕液處理使晶片的弱化層裂開，將晶片分離成獨立晶片單元，腐蝕液包含氫氟酸和緩蝕劑； 在步驟104中，將晶片置于含5wt%氫氟酸+0.5wt%苯并三氮唑的腐蝕液中，38-42℃的溫度下處理3-5min實現裂片； 在步驟104中，采用15-25kHz的低頻超聲波時行粗振，采用0.8-1.2MHz高頻超聲波進行精振。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市鑫億晶科技有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市寶安區航城街道黃麻布社區簕竹角鴻業工業園7棟廠房3層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。