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龍圖騰網(wǎng)獲悉京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方技術(shù)開發(fā)有限公司申請(qǐng)的專利MEMS開關(guān)及其制作方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115707350B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180001413.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01P1/15；該發(fā)明授權(quán)MEMS開關(guān)及其制作方法是由史迎利設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-06-03向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本MEMS開關(guān)及其制作方法在說明書摘要公布了：本公開實(shí)施例涉及一種柔性MEMS開關(guān)，其中，包括MEMS主體和位于所述MEMS主體外部的封裝體，所述封裝體包括第一柔性蓋板和第二柔性蓋板，所述第一柔性蓋板和所述第二柔性蓋板分別罩設(shè)于所述MEMS主體的相對(duì)的兩側(cè)，且所述第一柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第一腔體，所述第二柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第二腔體。本公開實(shí)施例還涉及一種柔性MEMS開關(guān)的制作方法。

本發(fā)明授權(quán)MEMS開關(guān)及其制作方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種柔性MEMS開關(guān)，其中，包括MEMS主體和位于所述MEMS主體外部的封裝體，所述封裝體包括第一柔性蓋板和第二柔性蓋板，所述第一柔性蓋板和所述第二柔性蓋板分別罩設(shè)于所述MEMS主體的相對(duì)的兩側(cè)，且所述第一柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第一腔體，所述第二柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第二腔體； 所述MEMS主體包括柔性基底和位于所述柔性基底上的功能器件，所述柔性基底包括用于設(shè)置所述功能器件的第一部分，以及位于圍設(shè)于所述第一部分外部的第二部分，所述第二部分為環(huán)形結(jié)構(gòu)用于與所述封裝體連接，所述第一部分包括面向所述第二部分的多個(gè)側(cè)壁，所述多個(gè)側(cè)壁中至少包括第一側(cè)壁，所述第一側(cè)壁沿其延伸方向的部分區(qū)域向遠(yuǎn)離所述第二部分的方向凹陷，以使得所述第一側(cè)壁與所述第二部分的對(duì)應(yīng)的部分之間具有間隙。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方技術(shù)開發(fā)有限公司，其通訊地址為：100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋路10號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。