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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江大學(xué)申請(qǐng)的專利一種柔性觸覺傳感器陣列及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111609955B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010437219.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01L1/20；該發(fā)明授權(quán)一種柔性觸覺傳感器陣列及其制備方法是由蔡民;宋吉舟設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-05-21向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種柔性觸覺傳感器陣列及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種柔性觸覺傳感器陣列及其制備方法，其中柔性觸覺傳感器陣列包括柔性基底和觸覺傳感陣列；觸覺傳感陣列包括N×M個(gè)觸覺傳感單元和互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)；觸覺傳感單元為一個(gè)被共形的聚合物包裹封裝的柵狀金屬箔，且每個(gè)柵狀金屬箔上集成了原位硬質(zhì)微柱陣列；互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)包括垂直交叉的N條行線和M條列線，在交叉點(diǎn)行線與列線被交叉絕緣墊彼此絕緣，行線與列線均被共形的聚合物包裹封裝；柔性基底與觸覺傳感陣列鍵合為整體。本發(fā)明根據(jù)金屬箔的電阻受壓改變的機(jī)理，構(gòu)造了原位硬質(zhì)微柱擠壓柵狀金屬箔的結(jié)構(gòu)，并以此為觸覺傳感單元結(jié)合互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)構(gòu)造了新型觸覺傳感器陣列，具有高穩(wěn)定性、高靈敏度、低遲滯、高集成度等優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明授權(quán)一種柔性觸覺傳感器陣列及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種柔性觸覺傳感器陣列，包括柔性基底和觸覺傳感陣列，其特征在于，所述觸覺傳感陣列包括N×M個(gè)觸覺傳感單元以及連接每個(gè)觸覺傳感單元的互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)； 所述的觸覺傳感單元為一個(gè)被共形的聚合物包裹封裝的柵狀金屬箔，所述的柵狀金屬箔上集成了硬質(zhì)微柱陣列；所述硬質(zhì)微柱陣列中的硬質(zhì)微柱形狀為長方體、圓柱體或錐體，材料為光固化樹脂、光固化聚合物或光刻膠； 所述互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)包括垂直交叉的N條行線和M條列線，在行線和列線的交叉點(diǎn)設(shè)有交叉絕緣墊，所述的行線與列線均被共形的聚合物包裹封裝； 所述的觸覺傳感陣列鍵合在柔性基底上； 所述的柔性觸覺傳感器陣列采用如下制備方法進(jìn)行制備： （1）采用PDMS液態(tài)預(yù)聚物，在硅片上通過旋涂和熱固化制得柔性基底； （2）將PI液態(tài)預(yù)聚物旋涂在硅片上并熱固化制得PI底層；在PI底層上光刻、顯影、金屬鍍膜和金屬剝離后，制得矩波型柵狀金屬箔和互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)于PI底層上，期間要對(duì)互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)的交叉點(diǎn)進(jìn)行絕緣處理； 將PI液態(tài)預(yù)聚物旋涂于上述硅片，并熱固化形成PI封裝層，并通過干法刻蝕PI，使其與矩波型柵狀金屬箔和互聯(lián)線網(wǎng)絡(luò)共形，從而形成夾心結(jié)構(gòu)； 采用光敏環(huán)氧樹脂預(yù)聚物，在夾心結(jié)構(gòu)上通過光刻技術(shù)制得硬質(zhì)微柱后，完成觸覺傳感陣列的制備；采用化學(xué)試劑浸泡的方式將觸覺傳感陣列從硅片上釋放； （3）使用水溶性膠帶將釋放的觸覺傳感陣列平整拾取，陣列一面與膠帶完全粘附，另一面暴露；在暴露面上沉積一薄層鉻和一薄層二氧化硅； 將柔性基底置于等離子清洗機(jī)中用氧氣處理后，迅速將黏有觸覺傳感陣列的水溶性膠帶與柔性基底熱壓鍵合為一整體，再其置于水中使得水溶性膠帶完全溶解，從而得到柔性觸覺傳感器陣列。

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