北京萬應(yīng)科技有限公司黃玲玲獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京萬應(yīng)科技有限公司申請的專利微透鏡母模制造方法及微透鏡母模獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN112346154B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:201910729842.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G02B3/00;該發(fā)明授權(quán)微透鏡母模制造方法及微透鏡母模是由黃玲玲設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2019-08-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本微透鏡母模制造方法及微透鏡母模在說明書摘要公布了:本發(fā)明實(shí)施例公開了一種微透鏡母模制造方法及微透鏡母模,包括:在襯底上涂敷光刻膠;在所述光刻膠上光刻圖形,形成光刻窗口;在所述光刻窗口內(nèi)電鍍預(yù)定金屬,形成金屬柱;其中,光刻窗口的直徑與金屬柱直徑相等;去除光刻膠;對金屬柱進(jìn)行高溫真空回流處理,形成金屬半球;所述金屬半球降溫固化,得到微透鏡母模。利用本發(fā)明實(shí)施例不僅能夠簡化制作工藝,還可采用常規(guī)半導(dǎo)體加工工藝實(shí)現(xiàn)高精度、高密度、高占空比微透鏡母模的制造,大大降低生產(chǎn)成本,同時(shí)還可采用電鍍和高溫真空回流技術(shù)使金屬半球表面光滑如鏡,大大降低金屬半球的粗糙度,實(shí)現(xiàn)超低粗糙度制造,而且易于清潔和再生,可適應(yīng)各種微透鏡母模的制造,適用性廣。
本發(fā)明授權(quán)微透鏡母模制造方法及微透鏡母模在權(quán)利要求書中公布了:1.一種微透鏡母模制造方法,其特征在于,包括: 在襯底上涂敷光刻膠:在襯底上沉積金屬粘接層;在所述金屬粘接層上沉積抗擴(kuò)散層,形成金屬連接層;在金屬連接層上涂敷光刻膠; 在所述光刻膠上光刻圖形,形成光刻窗口; 在所述光刻窗口內(nèi)電鍍預(yù)定金屬,形成金屬柱;其中,光刻窗口的直徑與金屬柱直徑相等,預(yù)定金屬為金錫或者錫鉛合金; 去除光刻膠; 對金屬柱進(jìn)行高溫真空回流處理,形成金屬半球; 所述金屬半球降溫固化,得到微透鏡母模。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人北京萬應(yīng)科技有限公司,其通訊地址為:100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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