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龍圖騰網獲悉鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司申請的專利一種基于溫度反饋控制的金剛石拋光及參數控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116728260B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310696012.1，技術領域涉及：B24B29/02；該發明授權一種基于溫度反饋控制的金剛石拋光及參數控制方法是由王寧昌;朱建輝;邵俊永;徐鈺淳;師超鈺設計研發完成，并于2023-06-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于溫度反饋控制的金剛石拋光及參數控制方法在說明書摘要公布了：本發明公開的一種基于溫度反饋控制的金剛石拋光及參數控制方法，根據加工所處的階段，即粗拋或者精拋，在不影響反應條件的前提下，優先考慮加工質量或者加工效率，參數調整的時候考慮先后順序，解決了大尺寸晶圓加工不能同時測量加工力和加工溫度的難題，進而解決了在端面拋光中以加工溫度為約束的情況下，在保證拋光質量的同時，進一步提高了拋光的效率。

本發明授權一種基于溫度反饋控制的金剛石拋光及參數控制方法在權利要求書中公布了：1.一種基于溫度反饋控制的金剛石拋光及參數控制方法，其特征在于，拋光裝置包括拋光盤、拋光夾具、溫度傳感器以及安裝在機床主軸上的測力儀，且拋光夾具通過T型夾具固定在測力儀上，而拋光夾具和T型夾具上相應開設有用于穿過溫度傳感器測溫單元的安裝孔，測溫單元與待加工樣品直接接觸，且溫度傳感器與機床的控制系統控制連接； 控制方法包括以下步驟： 1將金剛片粘貼在夾具上，夾具安裝在無線旋轉測力儀上，旋轉測力儀安裝在機床主軸上； 2將溫度傳感器內置在機床主軸上并隨機床主軸的轉子同步轉動，而溫度傳感器的感溫單元設于夾具兩側直接與待拋光的金剛石片接觸，且通過無線信號傳輸至機床的控制系統； 3通過單因素實驗進行拋光工藝探索，記錄載荷、溫度、砂輪轉速和材料去除率，得出拋光溫度隨著載荷和拋光轉速改變的變化規律，并定義拋光溫度最優區間的上限為T1，最優區間的下限為T0； 4通過控制系統監控拋光溫度： a、當拋光溫度在T0和T1之間時，拋光壓力和轉速不變； b、粗拋階段： 當溫度低于T0時，先提高壓力然后根據升溫情況提高轉速， 加工轉速穩定后，如果拋光溫度穩定仍低于T0，則重復以上步驟，直至拋光溫度在T0和T1之間； 隨著磨削過程的進行，砂輪磨粒消耗，鋒利度降低，磨削溫度升高， 當溫度高于T1時，通過機床控制系統先降低轉速然后根據降溫情況再降低壓力，保證材料去除率； 拋光壓力穩定后，如果拋光溫度穩定高于T1，則重復以上步驟，直至拋光溫度在T0和T1之間； c、精拋階段： 當溫度低于T0時，先提高轉速然后根據升溫情況降低拋光壓力， 拋光壓力穩定后，如果拋光溫度穩定仍低于T0，則重復以上步驟，直至拋光溫度在T0和T1之間； 隨著磨削過程的進行，砂輪磨粒消耗，鋒利度降低，磨削溫度升高， 當溫度高于T1時，通過機床控制系統先降低拋光壓力然后根據降溫情況再提高轉速，保證加工精度； 轉速穩定后，如果拋光溫度穩定高于T1，則重復以上步驟，直至拋光溫度在T0和T1之間； 5拋光每隔1-4小時停機查看,當待加工樣品整個表面與拋光盤接觸時,檢測其表面的粗糙度, 若粗糙度不滿足指標要求,則重復步驟4,直至滿足指標要求； 如粗糙度滿足指標要求,則結束拋光,將樣品從拋光夾具上取下。

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